На производственном участке пластины смещаются до толщины 50 мкм, но при этом снижается качество готовой продукции из-за неоднородности процесса...

На производственном этаже отклонение температуры на 0,5°C при сушке фоторезиста — это не просто сдвиг CD. Слишком многое здесь под угрозой....