Нагрев для утончения пластин с использованием инфракрасного излучения

Thu, 02 Jul 2026 09:13:21 +0800

На производственном участке пластины смещаются до толщины 50 мкм, но при этом снижается качество готовой продукции из-за неоднородности процесса сушки. Профили фотополимерного слоя меняются из-за неточности процесса нагрева. При резком повышении температуры во время процесса затвердевания материала возникают проблемы с упаковкой. Мы разработали инфракрасные нагреватели для снижения такой тепловой нестабильности.

Что важно с технической точки зрения Мы используем коротковолновые инфракрасные излучатели с быстрой реакцией на изменения температуры. Благодаря этому мы можем достичь заданной температуры за несколько секунд и поддерживать её без перегрева. На всей активной зоне толщина пластины остается стабильной в пределах ±0.1°C. Повторяемость процесса также обеспечивается благодаря предсказуемому износу излучателей. Система подходит для чистых помещений класса 1–100. Мы минимизируем образование частиц с помощью герметичных кварцевых стекол и системы контроля выбросов газов. Интенсивность нагрева настраивается так, чтобы достаточно быстро удалить растворители, но при этом не вызывать напряжения на поверхности пластины и её деформации.

Датчик температуры для оборудования по обработке полупроводниковых пластин

Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800

На производственном этаже отклонение температуры на 0,5°C при сушке фоторезиста — это не просто сдвиг CD. Слишком многое здесь под угрозой. Инструменты для обработки пластин работают круглосуточно без выходных, и тепловая нестабильность быстро накапливается, сокращая тепловой бюджет и вызывая необходимость повторной обработки. Нужен датчик температуры, у которого повторяемость — это характеристика, а не обсуждаемый вопрос.

Что технически важно
Мы разработали этот датчик для инструментов обработки пластин с учетом термической однородности на уровне ±0,1°C, чтобы каждая мягкая и твердая сушка соответствовали одному и тому же тепловому профилю из партии в партию. Он подходит для классов чистоты 1–100 и не генерирует частиц, что исключает снижение выхода из-за загрязнений. Датчик работает непрерывно без внеплановых простоев, а срок службы достаточен для плановой замены. Это обеспечивает стабильное технологическое окно и воспроизводимую литографическую производительность.

Вафля on Quartz Infrared Heating Source

Нагрев для утончения пластин с использованием инфракрасного излучения

Датчик температуры для оборудования по обработке полупроводниковых пластин