Датчик on Quartz Infrared Heating Source

Точный инфракрасный датчик для пластин

Wed, 22 Jul 2026 05:06:18 +0800

Прекратите позволять нагревательным лампам повреждать ваши пластины

Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, каково это — сталкиваться с такими проблемами. Один-единственный крошечный частицы пыли, которую даже невозможно увидеть, может привести к тому, что вся партия пластин станет бесполезной. Это очень раздражает.

Проблема заключается в том, что обычные инфракрасные лампы часто являются причиной подобных проблем. Они выделяют микроскопические частицы из своей оболочки, то есть функционируют как своего рода «фабрики пыли» прямо там, где это совсем не нужно.

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800

Как высушить пластины с МЭМС-датчиками без лишних проблем
Высушивание пластин с МЭМС-датчиками – это процесс, требующий тонкого балансирования. Необходимо как можно быстрее устранить воду с поверхности пластин, но если действовать слишком агрессивно, возможны тепловые стрессы или образование нежелательных остатков.

Мы нашли решение: используем инфракрасные нагреватели в сочетании с отражателями, покрытыми золотом. Это звучит сложно, но на самом деле речь идет о том, чтобы тепло попадало именно на поверхность пластины, а не нагревало внутреннюю часть оборудования.

Умная упаковка датчика инфракрасного излучения

Sat, 18 Jul 2026 04:22:21 +0800

Как направить тепло туда, куда нужно
Большинство устройств инфракрасного нагрева просто неэффективны – они распространяют энергию во все стороны. Когда вы работаете с упаковкой сенсоров на уровне полупроводниковых пластин, вам совершенно не нужно, чтобы корпус оборудования поглощал всё это тепло. Нужно, чтобы тепло попадало именно на сам полупроводник. Вот и всё.

Поэтому мы используем отражатели, покрытые золотом. Это способ не тратить лишнюю энергию, а направлять её в нужное русло.

Почему именно золото?
Это может показаться странным, но на самом деле это просто практичный выбор. Золото отлично отражает инфракрасные лучи. Благодаря тонкому слою золота на отражателе система не поглощает тепло, которое должна передавать. В результате получается четкий, сфокусированный луч тепла. Самое лучшее в этом подходе то, что на пластину поступает гораздо больше тепла, без необходимости увеличивать мощность источника питания. Это превращает обычный инструмент в точный инструмент для работы с полупроводниками.

Нагреватель для изготовления датчика водорода

Sat, 11 Jul 2026 09:09:20 +0800

Сохранение чистоты: реальность использования нагревателей с датчиками
При производстве гидрогеновых датчиков даже одна крошечная пылинка или небольшое количество газа, проникшего через уплотнение, может разрушить всю партию продукции. Это очень раздражает – одна маленькая ошибка может привести к потере многих часов работы.

Поэтому при создании инфракрасных нагревателей для таких целей мы учитываем не только температуру, но и степень чистоты.

Кварц как материал для ламп
Мы используем высокочистый синтетический кварц для изготовления ламп. Почему? Потому что обычное стекло или дешевые аналоги начинают отслаиваться или образовывать частицы при повышении температуры. Никто не хочет, чтобы на поверхность датчика попадали микроскопические частицы пыли во время процесса изготовления. Мы специально обрабатываем трубки, чтобы на их поверхности не оставалось ничего, что могло бы отвалиться.

Датчик температуры для оборудования по обработке полупроводниковых пластин

Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800

На производственном этаже отклонение температуры на 0,5°C при сушке фоторезиста — это не просто сдвиг CD. Слишком многое здесь под угрозой. Инструменты для обработки пластин работают круглосуточно без выходных, и тепловая нестабильность быстро накапливается, сокращая тепловой бюджет и вызывая необходимость повторной обработки. Нужен датчик температуры, у которого повторяемость — это характеристика, а не обсуждаемый вопрос.

Что технически важно
Мы разработали этот датчик для инструментов обработки пластин с учетом термической однородности на уровне ±0,1°C, чтобы каждая мягкая и твердая сушка соответствовали одному и тому же тепловому профилю из партии в партию. Он подходит для классов чистоты 1–100 и не генерирует частиц, что исключает снижение выхода из-за загрязнений. Датчик работает непрерывно без внеплановых простоев, а срок службы достаточен для плановой замены. Это обеспечивает стабильное технологическое окно и воспроизводимую литографическую производительность.