Нагрев для утончения пластин с использованием инфракрасного излучения

Thu, 02 Jul 2026 09:13:21 +0800

На производственном участке пластины смещаются до толщины 50 мкм, но при этом снижается качество готовой продукции из-за неоднородности процесса сушки. Профили фотополимерного слоя меняются из-за неточности процесса нагрева. При резком повышении температуры во время процесса затвердевания материала возникают проблемы с упаковкой. Мы разработали инфракрасные нагреватели для снижения такой тепловой нестабильности.

Что важно с технической точки зрения Мы используем коротковолновые инфракрасные излучатели с быстрой реакцией на изменения температуры. Благодаря этому мы можем достичь заданной температуры за несколько секунд и поддерживать её без перегрева. На всей активной зоне толщина пластины остается стабильной в пределах ±0.1°C. Повторяемость процесса также обеспечивается благодаря предсказуемому износу излучателей. Система подходит для чистых помещений класса 1–100. Мы минимизируем образование частиц с помощью герметичных кварцевых стекол и системы контроля выбросов газов. Интенсивность нагрева настраивается так, чтобы достаточно быстро удалить растворители, но при этом не вызывать напряжения на поверхности пластины и её деформации.

Истончение on Quartz Infrared Heating Source

Нагрев для утончения пластин с использованием инфракрасного излучения