http://quartz-ir-heat.com/ru/tags/%D0%BC%D0%BE%D0%B4%D1%83%D0%BB%D1%8C/ Recent content in Модуль on Quartz Infrared Heating Source Hugo ru Mon, 01 Jun 2026 20:35:30 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ru/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Mon, 01 Jun 2026 20:35:30 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ru/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Инфракрасный модуль сушки фоторезиста"></p> <p>На производственном этаже смещение температуры мягкого отжига даже на полградуса может нарушить контроль критических размеров и оставить пленку после проявления. Допускать догадки больше нельзя. Мы разработали инфракрасный модуль сушки фоторезиста, чтобы исключить эту вариативность, обеспечивая повторяемое тепловое поведение, когда однородность на уровне пластины и дисциплина чистой комнаты — единственно приемлемый стандарт.</p> <p><strong>Что действительно важно внутри</strong></p> <p>Мы используем коротковолновое инфракрасное излучение с кварцевыми излучателями без галогенов, направляя энергию непосредственно в пленку резиста. В результате достигается однородность на уровне пластины с разбросом ±0.1°C по всей поверхности отжига, а заданные температуры сохраняются неизменными в течение всего цикла мягкого и твердого отжига. Модуль эксплуатируется в чистых помещениях класса 1–100 без увеличения количества частиц, поскольку расположение излучателей и направление воздушного потока минимизируют турбулентность и исключают образование частиц. После 5000+ часов работы изменение интенсивности не превышает 5%, что гарантирует стабильность теплового бюджета на каждой партии.</p>