http://quartz-ir-heat.com/ru/tags/%D1%82%D0%B5%D1%80%D0%BC%D0%BE%D0%BF%D0%B0%D1%80%D0%B0/ Recent content in Термопара on Quartz Infrared Heating Source Hugo ru Wed, 17 Jun 2026 16:08:24 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ru/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 17 Jun 2026 16:08:24 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ru/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Термопара для полупроводникового нагревателя"></p> <p>На производственном полу термический бюджет не является просто рекомендацией — это граница, которую нельзя переступать. Небольшое отклонение температуры во время обработки фотополимера приводит к изменению критических размеров деталей после процедуры эчинга. Это сразу же сказывается на качестве продукции. Поэтому мы разработали термопары для нагревателей в полупроводниковых устройствах, чтобы устранить такие отклонения на каждом этапе процесса.</p> <p>С технической точки зрения важно, чтобы термопара имела высокую чувствительность и подходила по форме к нагревателю. Это позволяет добиться термической однородности на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Датчик упакован таким образом, чтобы предотвратить выделение газов и образование частиц в чистой комнате класса 1–100. Для этого используются материалы, способствующие снижению уровня выбросов газов и образования частиц.</p>