Замена галогенной лампы RTP

Sat, 04 Jul 2026 11:32:13 +0800

Введение
Давайте будем честны: в производстве полупроводников снижение затрат — это не просто цель, а постоянная задача. Поэтому мы создали устройство, которое позволяет эффективно справляться с этими трудностями: инфракрасная галогенная лампа, предназначенная для замены существующих ламп. Она обеспечивает высокую эффективность нагрева, но при этом имеет приемлемую цену.

Это решение позволяет добиться высокой отдачи от инвестиций, без необходимости жертвовать надежностью или производительностью. Вы получаете тот уровень производительности, который требуют системы RTP, но без высокой цены, которая обычно сопровождает такие устройства.

Замена лампы Mattson RTP

Tue, 09 Jun 2026 03:49:46 +0800

На производственном участке, если в RTP-оборудовании выходит из строя одна лампа, это не просто останавливает камеру — это останавливает всю линию. Сдвиг температуры во время мягкой и жесткой термообработки фоторезиста приводит к отклонению критических размеров от заданных параметров, а неравномерный нагрев по поверхности пластины снижает повторяемость результатов. Замена лампы Mattson RTP предназначена для поддержания термического контроля в заданных пределах процесса.

Вот что важно под капотом.
Наши модули галогенных ламп обеспечивают коротковолновую энергию для быстрого разгона и быстрого охлаждения, сохраняя тепловой бюджет и минимизируя перекосы температуры. Однородность по пластине удерживается в пределах ±0.1°C, что гарантирует точное соблюдение профиля мягкой и жесткой термообработки без температурных отклонений на краях.

RTP on Quartz Infrared Heating Source

Замена галогенной лампы RTP

Замена лампы Mattson RTP