http://quartz-ir-heat.com/ru/tags/tool/ Recent content in Tool on Quartz Infrared Heating Source Hugo ru Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ru/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/ru/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Датчик температуры для оборудования по обработке полупроводниковых пластин"></p> <p>На производственном этаже отклонение температуры на 0,5°C при сушке фоторезиста — это не просто сдвиг CD. Слишком многое здесь под угрозой. Инструменты для обработки пластин работают круглосуточно без выходных, и тепловая нестабильность быстро накапливается, сокращая тепловой бюджет и вызывая необходимость повторной обработки. Нужен датчик температуры, у которого повторяемость — это характеристика, а не обсуждаемый вопрос.</p> <p><strong>Что технически важно</strong><br> Мы разработали этот датчик для инструментов обработки пластин с учетом термической однородности на уровне ±0,1°C, чтобы каждая мягкая и твердая сушка соответствовали одному и тому же тепловому профилю из партии в партию. Он подходит для классов чистоты 1–100 и не генерирует частиц, что исключает снижение выхода из-за загрязнений. Датчик работает непрерывно без внеплановых простоев, а срок службы достаточен для плановой замены. Это обеспечивает стабильное технологическое окно и воспроизводимую литографическую производительность.</p>