วิธีทำให้แผ่นวัสดุ MEMS แห้งโดยไม่มีปัญหา การทำให้แผ่นเซ็นเซอร์ MEMS แห้งนั้นเป็นเรื่องที่ต้องหาจุดสมดุลให้ได้ คุณต้องกำจัดน้ำออกให้เร็วที่สุด...

บนพื้นที่ผลิต การอบแบบ soft bake ที่มีการเปลี่ยนแปลงแม้เพียงครึ่งองศาก็สามารถส่งผลต่อการควบคุมมิติที่สำคัญและทิ้งคราบหลังการพัฒนาได้...