Üretim alanlarında, o ince pil bölme filmi asla atıl bir katman değildir; bu filmin de ürünün bir parçası olduğu ve her işlem sırasında tutarlı şekilde davranması gerektiği unutulmamalıdır. Eğer ısı profili biraz olsun değişirse, film içindeki çözücüler sabitlenebilir, kabarcıklar oluşabilir veya film düzensiz şekilde büzülebilir. Bu durumda maliyet artar. Dolayısıyla, bu filmi sadece bir tüketim malzemesi olarak değil, süreç açısından kritik bir katman olarak ele alan bir kurutucuya ihtiyaç vardır.
Asıl önemli olan şeyler Kurutucuyu, kısa dalga boylu kızılötesi ışınları kullanarak hızlı ve eşit ısıtma sağlayacak şekilde tasarladık. Aktif bölgede waferin sıcaklığı ±0,1°C aralığında sabit tutulur ve fotoresistin işlenmesi sırasında elde edilen sonuçlar belirli bir aralık içinde kalır. Çünkü tekrarlanabilirlik, kritik boyutların stabil kalmasını sağlar. Sistem, Class 1’den Class 100’e kadar olan tüm temiz oda koşullarına uyumludur ve sıcak bölge, yerinde yapılan izleme işlemleriyle partikül üretmemesi için tasarlanmıştır.
Buradaki güvenilirlik bir slogandan ziyade bir tasarım hedefidir. Bu cihazlar 7/24 kesintisiz çalışır ve lamba modülü 5.000 saatten fazla süre boyunca %5’ten az bir verim kaybı ile çalışır.
Neden bu sistem pil bölme filmi işlemleri için uygundur? Kurutucu, litografi ve fotoresist işlemlerinden önce yer alır. Kalan nem ve çözücüleri hızlı bir şekilde uzaklaştırır; böylece film düz ve kuru halde kaplama işlemine tabi tutulur. Böylece yeniden işlemler azalır, atık miktarı düşer ve üretim verimi sabit kalır.
Enerji tüketimi de kontrol altındadır. Isıtıcı yapısı, ihtiyaç duyulduğunda ısıtma yapar ve sıcaklığı aşırı yükselmeden sabit tutar. Böylece her parti başına daha az enerji tüketilmiş olur.
Pratik kurulum detayları Kurutucu, mevcut üretim ekipmanlarına sorunsuz bir şekilde entegre edilebilir. Ancak sıcaklığın sabit kalması ve egzoz gazlarının doğru yönde atılması için özel bir güç kaynağı ve drenaj sistemi gereklidir. Kurulum sırasında, işlem parametrelerinin doğru ayarlandığından ve temiz oda koşullarının standartlara uygun olduğundan emin olmak için kısa bir test süreci gereklidir.