Vakum odasının sıcaklığını doğru ayarlamak
Eğer modern bir fabrika inşa ediyorsanız, termal enerjinin ne kadar zorlayıcı bir unsur olduğunu muhtemelen fark etmişsinizdir. Vakum odasındaki hava çekildiğinde konveksiyon tamamen ortadan kalkar. Artık işleri halletmek için yalnızca radyasyona güvenmek zorunda kalırsınız.
İşte burada kızılötesi (IR) sistemler devreye girer. Bu sistemler, vakum koşullarıyla mücadele etmek yerine onunla birlikte çalışır ve herhangi bir aracıya gerek kalmadan enerjiyi doğrudan hedefe iletir.
Sıcaklık değerlerini tahmin etmeyi bırakın
Hepimiz standart dirençli ısıtıcılarla karşılaşmışızdır. Sorun şu ki bunlar çok yavaş ısınırlar ve soğumaları da uzun sürer. PID döngülerini yönetmeye çalışırken bu gecikme ciddi bir sorun teşkil eder. Bu durum veri kayıtlarını bozar ve tüm süreci sanki bozuk dümenli bir gemiyi yönetmek gibi zorlaştırır.
Kızılötesi ısıtıcılar ise farklıdır; anında ısınır. Bu ısıtıcılar gerçek zamanlı olarak tepki verdikleri için doğrudan PLC’ye bağlanabilirler. Artık sadece termokupllara bakarak en iyi sonucu ummak zorunda değilsiniz; waferinizin termal profilini doğrudan ölçebilirsiniz. Bu, bir odanın sıcaklığını tahmin etmek ile sıcak noktaların tam olarak nerede olduğunu bilmek arasındaki farktır.
Vakum ortamında çalışmanın zorlukları
Vakum içinde ekipman kullanmak da bazı zorluklara sahiptir. Öncelikle, gaz salınımı ciddi bir sorundur. Kimse kirleticilerin temiz bir üretim sürecini bozmasını istemez. Bunu önlemek için yüksek saflıkta kuvars kullanılır ve lambalara özel kaplamalar yapılır.
Ayrıca güç konusu da önemlidir. İş akışını devam ettirebilmek için hedef sıcaklıklara hızlıca ulaşmak gerekir. Ancak burada bir sorun var: Yüksek güçlü ışınlar dar vakum alanlarında ciddi lokal ısı oluşmasına neden olur. Eğer soğutma sistemleri yetersizse, conta sorunları veya sensörlerin zarar görmesi kaçınılmazdır. Bu durumda dengeyi sağlamak gerekiyor.
Uygun çözüm bulmak
Kimse temiz oda alanının yarısını kaplayan bir ısıtma sistemi istemez. Kısa dalga boylu kızılötesi ısıtıcılar sayesinde ısı kaynağını hedefe çok daha yakın bir yere yerleştirebiliriz. Böylece büyük kabinetlerden ve hantal yapılarから kurtulmuş oluruz. Bu sayede tüm sistem eski, aşırı büyük sistemlerin yerine kolayca kullanılabilir hale gelir.
Böylece metrekare başına daha fazla wafer elde edilir. Dizayn daha basit hale gelir, alan daha küçülür ve iş akışı daha rahat hale gelir.