Neden yıkama aşamasında IR lambaları sıcak hava yönteminden daha üstündür?
Eğer yarı iletken işleme alanlarında çalıştıysanız, yıkama aşamasının genellikle her şeyin yavaşladığı bir aşama olduğunu biliyorsunuz. Bu, klasik bir engeldir.
Yıllardır sıcak hava dolaşımından yararlanıyoruz. Ancak buradaki sorun şu: Wafer’ın sıcaklık değişimini hissetmesi için önce odadaki tüm havanın ısınması gerekiyor. Bu oldukça yavaş ve zahmetli bir süreçtir.
İşte bu yüzden su geçirmez IR lambalara yöneliyoruz. Bu lambalar, bu can sıkıcı gecikmeleri ortadan kaldırıyor.
Bekleme süresi en kötü kısım
Sıcak havanın mühendisler tarafından “termal atalet” olarak adlandırılan bir özelliği vardır. Basitçe söylemek gerekirse, harekete geçmesi çok uzun sürer. Aslında odanın belirli bir sıcaklığa ulaşmasını beklemek zorundasınız.
IR lambalar ise böyle değil. Elektromanyetik radyasyonları doğrudan wafer yüzeyine gönderirler. Isı transferi neredeyse anlık olarak gerçekleşir.
Üretimi yürüten kişi açısından bu, işlem sürelerinin azalması anlamına gelir. Ayrıca, zeminin yarısını kaplayacak büyük ekipmanlara ihtiyaç duymazsınız.
Suyun dışarıda kalması
Yıkama bölgesine lamba yerleştirmek, kısa devre riski gibi görünebilir. Buradaki düşman nemdir.
Bunu sağlamak için özel kuvars kaplamalar ve mühürlü uç kapaklar kullanıyoruz. Böylece su dışarıda kalır. Standart lambalar bu termal şoklara maruz kaldığında hemen bozulur, ancak bu lambalar filamenti korur ve kuru tutar.
Ancak bir dezavantaj da var…
IR lambalar hızlı olsa da seçici davranırlar. Sıcak hava gibi parçanın etrafını sararak ısıtmak yerine, IR lambalar yalnızca görebildikleri yerleri ısıtır. Lambalar doğru şekilde yerleştirilmezse soğuk noktalar oluşur ve kurutma işlemi düzensiz olur.
Ayrıca, güç kaynaklarının bu hızlı değişimlere ayak uydurabilmesi gerekmektedir. Yüksek ısı yoğunluğu nedeniyle ekipmanların bu duruma uygun olması gerekiyor.
Bu durumun üretim kapasiteniz üzerindeki etkisi
Sonuçta, IR lambalara geçiş yapmak, karmaşık teknik özelliklerle ilgili değildir. Asıl mesele zaman tasarrufudur. Isınma süresi dakikalardan saniyelere düşer. Üretimi artırmaya çalışırken bu büyük bir avantajdır. Tüm süreç daha akıcı ve daha az sinir bozucu hale gelir.