MEMS sensör yongası kurutma ısıtıcısı
MEMS yongalarını sorunsuz bir şekilde kurutmak
MEMS sensör yongalarını kurutmak oldukça hassas bir işlemdir. Suyun hızla uzaklaştırılması gerekiyor;...
Fotoresist kurutma kızılötesi modülü
Fabrikada, yarım derece bile kayabilen bir soft bake, kritik boyut kontrolünü bozabilir ve geliştirme sonrası kalıntı bırakabilir. Artık tahmine yer...