http://quartz-ir-heat.com/uk/tags/%D0%BC%D1%8D%D1%82%D1%82%D1%81%D0%BE%D0%BD/ Recent content in Мэттсон on Quartz Infrared Heating Source Hugo uk Tue, 09 Jun 2026 03:49:46 +0800 http://quartz-ir-heat.com/uk/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Tue, 09 Jun 2026 03:49:46 +0800 http://quartz-ir-heat.com/uk/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Заміна лампи Mattson RTP"></p> <h1 id="на-виробничому-ділянці">На виробничому ділянці</h1> <p>Одна лампа, що виходить з ладу в RTP інструменті, зупиняє не лише камеру — вона зупиняє весь конвеєр. Зміщення температури під час софт-бейку і хард-бейку фотозахисного шару виводить критичні розміри за межі допуску, а нерівномірний нагрів по поверхні пластини ускладнює забезпечення повторюваності процесу. Заміна лампи Mattson RTP розроблена для підтримки температурного контролю саме в межах необхідного технологічного вікна.</p> <p>Ось що має значення в роботі системи.</p> <p>Наші галогенні лампові модулі випромінюють короткохвильову енергію для швидкого розгону та швидкого охолодження, зберігаючи тепловий бюджет й мінімізуючи перегрів. Однорідність нагріву на рівні пластини тримається в межах ±0.1℃, тому кожен профіль софт-бейку і хард-бейку точно відповідає рецептурі — без відхилень на краях.</p>