Trên sàn lithography, bạn biết rằng sự trôi 0.5°C trong quá trình nướng photoresist có thể làm mất kiểm soát kích thước quan trọng (CD) ra ngoài thông số kỹ thuật một cách nhanh chóng. Bóng đèn sưởi lithography của Canon được thiết kế để giữ hành vi nhiệt ổn định bên trong cửa sổ quy trình, ca này qua ca khác.
Những gì quan trọng bên trong
Nó sử dụng các bộ phát halogen hồng ngoại sóng ngắn trong một lớp thạch anh, do đó bạn có được sự gia nhiệt bức xạ trực tiếp nhanh chóng với độ quán tính nhiệt thấp. Trên toàn bộ khu vực nướng, độ đồng nhất ở mức wafer duy trì ở ±0.1°C, và độ lặp lại nhiệt độ nằm trong khoảng ±0.2°C từ lô này sang lô khác. Thiết kế tương thích với các phòng sạch loại 1–100, và các vật liệu cũng như điểm kết nối được chọn để giữ mức phát sinh hạt và khí thoát thấp. Độ ổn định đầu ra được chỉ định duy trì trong khoảng 2% trong hơn 5,000 giờ, điều này giúp bạn thực hiện các chiến dịch dài mà không phải lo lắng về sự trôi hiệu chuẩn.
Đây là lý do tại sao điều này quan trọng trong quá trình photoresist. Nướng mềm sau khi quay, sau đó nướng cứng trước khi khắc hoặc phát triển—độ chính xác nhiệt độ trực tiếp xác định việc loại bỏ dung môi, ứng suất màng, và độ thiên lệch CD. Kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ hơn dẫn đến ít lô phải làm lại hơn, giảm phế phẩm, và tăng tính dự đoán của lớp phủ.
Hồ sơ IR phản hồi nhanh cắt giảm thời gian khởi động và làm mát, điều này cải thiện khả năng sử dụng thiết bị. Mức tiêu thụ năng lượng được điều chỉnh bằng cách khớp đầu ra quang phổ với ngân sách nhiệt photoresist, vì vậy bạn không xả nhiệt thải có thể gây căng thẳng cho chuck và các mô-đun xung quanh. Và độ tin cậy được thiết kế cho hoạt động 24/7, điều này có nghĩa là ít bất ngờ hơn và giảm tải bảo trì.
Một vài thực tế tại hiện trường
Việc lắp đặt phải tuân theo các thông số kỹ thuật kết nối và căn chỉnh của OEM—các đầu nối không khớp có thể tạo ra các điểm nóng và rút ngắn tuổi thọ bóng đèn. Bóng đèn được tối ưu hóa cho các nền tảng lithography của Canon, và bạn cần các phản xạ khớp và quản lý nhiệt thích hợp để duy trì độ đồng nhất ±0.1°C đó.
Trước khi bạn thay thế, hãy xác minh hình học buồng nướng và dung sai nguồn điện. Sau đó, giữ cho quy trình trung thực bằng cách lập lịch kiểm tra cường độ hồng ngoại định kỳ—việc duy trì trong kế hoạch kiểm soát là cách duy nhất để giữ hiệu suất nhất quán.