Trong môi trường sản xuất, việc kiểm soát nhiệt độ trong quá trình xử lý phim ảnh là điều không thể bỏ qua. Điều quan trọng nhất chính là việc duy trì nhiệt độ ổn định. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi khoảng nửa độ C, các kích thước quan trọng của wafer sẽ bị ảnh hưởng. Bạn có thể lãng phí hàng giờ làm việc chỉ vì điều này.
Đèn IR và lớp vỏ bằng thạch anh được đặt ngay ở trung tâm của hệ thống kiểm soát nhiệt độ này. Nếu lớp vỏ này không thể duy trì nhiệt độ ổn định, thì toàn bộ quy trình sản xuất sẽ bị ảnh hưởng.
Những yếu tố quan trọng cần lưu ý
Chúng tôi đã thiết kế lớp vỏ thạch anh sao cho nó có thể truyền sóng hồng ngoại ngắn và trung bình một cách hiệu quả, giống như cách mà lớp phim ảnh hấp thụ ánh sáng hồng ngoại trong quá trình xử lý. Điều này giúp duy trì độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0.1°C – đây chính là mức độ cần thiết để kiểm soát độ rộng của các đường kênh trên wafer một cách chính xác.
Lớp vỏ này có thể hoạt động tốt trong môi trường sạch loại 1–100. Bề mặt của nó luôn giữ được mức số lượng hạt bụi dưới mức cho phép, ngay cả khi có sự thay đổi nhiệt độ. Chúng tôi thiết kế nó để hoạt động 24/7, và chúng tôi đã kiểm chứng được tính ổn định của nó trong hơn 5.000 giờ hoạt động.
Tại sao nó vẫn hoạt động tốt trong quá trình sản xuất
Trong quá trình sản xuất, lớp vỏ này giúp duy trì độ ổn định về nhiệt độ, không gây ra sự chênh lệch nhiệt độ hay điểm nóng. Nhờ đó, số lượng wafer bị hỏng do các vấn đề liên quan đến nhiệt độ sẽ giảm đi. Độ đồng đều về kích thước của các wafer cũng được duy trì ở mức cao.
Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt vì lớp vỏ này có thể truyền sóng hồng ngoại một cách hiệu quả. Do đó, nhu cầu về điện năng cũng giảm đi. Đây còn là giải pháp thay thế tốt cho các linh kiện thạch anh do các nhà sản xuất khác cung cấp, vì nó có thể được lắp đặt mà không cần phải điều chỉnh lại toàn bộ hệ thống kiểm soát nhiệt độ.
Những chi tiết không thể bỏ qua
Độ chính xác trong quá trình lắp đặt rất quan trọng. Lớp vỏ phải được lắp đặt đúng vị trí quy định; nếu không, sẽ xảy ra tình trạng nhiệt độ không đồng đều. Trước khi thay thế, hãy kiểm tra kỹ loại kết nối của đèn và kích thước của lớp vỏ.
Hãy sử dụng dụng cụ và găng tay phù hợp với môi trường sạch khi thao tác với lớp vỏ này. Dấu vân tay trên bề mặt thạch anh sẽ gây ra những khiếm khuyết về nhiệt độ, khiến bạn phải mất thời gian để khắc phục chúng. Hãy thay thế lớp vỏ theo đúng lịch trình, chứ không phải khi nó bị hỏng – nếu không, bạn sẽ mạo hiểm với ngân sách năng lượng và thời gian hoạt động của máy móc.