http://quartz-ir-heat.com/vi/tags/%C4%91%C3%A8n-b%C3%A0n/ Recent content in Đèn Bàn on Quartz Infrared Heating Source Hugo vi Tue, 09 Jun 2026 03:49:46 +0800 http://quartz-ir-heat.com/vi/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Tue, 09 Jun 2026 03:49:46 +0800 http://quartz-ir-heat.com/vi/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Thay đèn Mattson RTP"></p> <p>Trên sàn sản xuất, một bóng đèn hỏng trong công cụ RTP không chỉ làm đình trệ buồng xử lý mà còn làm dừng toàn bộ dây chuyền. Sự trôi nhiệt trong quá trình soft bake và hard bake photoresist đẩy các kích thước quan trọng ra khỏi mục tiêu, và việc nhiệt độ không đều trên <a href="https://o-yate.com">wafer</a> gây khó khăn trong việc lặp lại kết quả. Việc thay bóng đèn Mattson RTP được thiết kế để giữ kiểm soát nhiệt chính xác trong phạm vi quy trình.</p>