http://quartz-ir-heat.com/zh/tags/%E5%8C%96%E5%AD%A6%E7%89%A9%E8%B4%A8/ Recent content in 化学物质 on Quartz Infrared Heating Source Hugo zh Sun, 28 Jun 2026 05:59:49 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ Sun, 28 Jun 2026 05:59:49 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="化学气相沉积加热器"></p> <p>在制造现场，腔室温度出现0.5℃的波动就足以影响产品的良率。我们设计这款CVD加热器，正是考虑到每一次沉积过程都涉及极其微小的<a href="https://o-yate.com">温度变化</a>。</p> <p><strong>从技术层面来看，重要的是什么？</strong> 该加热器将短波红外加热技术与石英封装元件相结合，从而确保晶圆表面的温度均匀性在±0.1℃范围内。温度可在10秒内稳定下来，而在数千次循环后，其重复性仍能保持在±0.2℃以内。</p>