反射器 on Quartz Infrared Heating Source

晶圆固化灯用反射器

Thu, 23 Jul 2026 12:16:06 +0800

避免混乱：解决晶圆固化过程中灯管损坏的问题

说实话，当高负载固化系统中的灯管发生故障时，那简直是一场噩梦。问题不仅在于设备需要停机，还有那些烦人的警报声。更糟糕的是，玻璃碎片和卤素气体会直接落在晶圆上，从而造成污染。因此，我们设计了反射器结构，作为物理上的保护措施。

红外灯用铝制反射器

Mon, 20 Jul 2026 11:41:40 +0800

保持晶圆清洁：为何红外灯的设计如此重要
在高负荷的制造环境中，灯泡故障不仅仅是技术问题，更是一场灾难。想象一下，如果红外灯管在硅晶圆上方爆炸，玻璃碎片和卤素气体就会四处飞溅，从而导致整个批次的产品被污染。那真是糟糕至极的情况。我们设计的加热系统就是为了防止这种情况发生，我们采用了先进的几何结构以及高纯度的铝材来确保这一点。

关键在于反射器
我们使用深度拉伸处理过的、具有高反射率的铝材来制作灯壳。大多数人认为反射器的作用只是将热量反射回晶圆上，确实如此。但同时，它还起到了物理防护的作用。我们花费大量时间来计算焦点位置，以便让热量精确地作用于所需区域，同时避免灯泡受到损害。如果灯泡发生故障，反射器可以捕获大部分碎屑，使其留在灯壳内，而不会损坏产品。

带金质反光罩的红外灯泡

Thu, 09 Jul 2026 03:19:02 +0800

我们设计这种带有镀金反射器的红外线灯泡，原因很简单：确保每一瓦特的电能都能转化为有效的热能，用于加热目标物体。在芯片加工过程中，容不得任何热量散失。因此，需要的是集中且定向的能量输出，而镀金反射器正是实现这一目标的理想解决方案。

其内部结构包括一个高输出功率的卤素元件，该元件被封装在石英外壳中。这种设计并非偶然，而是经过精心设计的。反射器的几何形状以及灯管的长度共同作用，使得热量能够集中在所需位置，同时还能控制热点大小。这样就能精确地控制加热过程，避免过度加热。