如何让MEMS晶圆快速干燥，同时避免各种问题？ 干燥MEMS传感器晶圆需要巧妙地控制温度。虽然需要尽快去除水分，但如果处理不当，就有可能导致热应力或残留物问题。 我们发现的解决方案是使用红外线加热器，再搭配镀金反射器。听起来很复杂，但实际上只是为了确保热量能够直接作用于晶圆上，而不是让机器内部过热...

在晶圆厂车间，软烘烤温度漂移半度都会影响关键尺寸控制，并在显影后留下残渣。如今已经没有任何猜测的余地。我们开发了光刻胶干燥红外模块，以消除这种变异，实现晶圆级均匀的可重复热行为，确保洁净室规范成为唯一可接受标准。 关键技术细节 我们采用无卤石英发射器的短波红外，能量直接传递至光刻胶膜层。结果是在烘...