http://quartz-ir-heat.com/zh/tags/%E6%99%B6%E5%9C%86/ Recent content in 晶圆 on Quartz Infrared Heating Source Hugo zh Tue, 28 Jul 2026 05:12:56 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/eliminating-particulate-contamination-in-wafer-heating-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Tue, 28 Jul 2026 05:12:56 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/eliminating-particulate-contamination-in-wafer-heating-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="晶圆加热的安全距离"></p> <p>如何让100级洁净室始终保持清洁状态<br> 如果在100级洁净环境中对硅片进行加热处理，那可真是件麻烦事。哪怕有一点点杂质或气体泄漏，整批产品都会报废。这确实很令人苦恼。大多数普通加热元件根本不适合这种环境——它们容易碎裂，从而破坏产品的质量。</p> http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ Thu, 23 Jul 2026 12:16:06 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="晶圆固化灯用反射器"></p> <h1 id="避免混乱解决晶圆固化过程中灯管损坏的问题">避免混乱：解决晶圆固化过程中灯管损坏的问题</h1> <p>说实话，当高负载固化系统中的灯管发生故障时，那简直是一场噩梦。问题不仅在于设备需要停机，还有那些烦人的警报声。更糟糕的是，玻璃碎片和卤素气体会直接落在晶圆上，从而造成污染。因此，我们设计了反射器结构，作为物理上的保护措施。</p> http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Wed, 22 Jul 2026 05:06:21 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="用于晶圆的精密红外传感器"></p> <h1 id="别再让加热灯损坏你的晶圆了">别再让加热灯损坏你的晶圆了</h1> <p>如果你在100级洁净室中工作，那么你一定知道那有多糟糕。哪怕只有一粒微小的灰尘——小到肉眼都无法看见——就足以让整批晶圆报废。这真是令人沮丧。</p> <p>问题在于，普通的红外灯往往是罪魁祸首。它们会释放出微量颗粒物，简直就像一个个“灰尘制造机”，而这种状况恰恰发生在最需要保持洁净的环境中。</p> http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>如何让MEMS晶圆快速干燥，同时避免各种问题？<br> 干燥MEMS传感器晶圆需要巧妙地控制温度。虽然需要尽快去除水分，但如果处理不当，就有可能导致热应力或残留物问题。</p> http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/energy-efficient-wafer-heater/ Thu, 09 Jul 2026 03:13:15 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/energy-efficient-wafer-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="节能型晶圆加热器"></p> <h2 id="简介">简介</h2> <p>我们开发红外加热系统的目的很明确：让半导体生产流程更高效，同时降低能耗。也就是说，我们要确保晶圆能以最快速度达到所需温度，而且还能实现精准的温度控制。这样一来，您所使用的电力就会远远少于传统的加热方式。</p> http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/wafer-thinning-heating-infrared/ Thu, 02 Jul 2026 09:13:23 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/wafer-thinning-heating-infrared/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="晶圆减薄加热红外技术"></p> <p>在制造车间里，我们需要将晶圆厚度减少到50微米左右。但由于干燥过程不均匀，导致成品率下降。当加热温度不稳定时，光刻胶的厚度也会发生变化。而当固化过程中的温度过高时，封装材料则可能出现裂痕。我们设计了红外加热器，以此来消除这些热应力带来的问题。</p> http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="晶圆设备用温度传感器"></p> <p>在晶圆车间，光刻胶烘烤过程中0.5°C的温度漂移不仅仅是尺寸（CD）偏差。这涉及的风险很大。<a href="https://henruite.com">晶圆设备全</a>天候7×24运行，热不稳定会迅速累积，消耗热预算并导致返工。你需要一种温度传感器，其重复性应作为规格要求，而非仅仅是讨论点。</p> <p><strong>技术要点</strong><br> 我们针对晶圆级热均匀性±0.1°C设计了这款传感器，以保证每次软烘烤和硬烘烤均采用相同的热轮廓，批次间一致。它适用于1级至100级洁净室，且不会产生任何颗粒，避免因污染带来良率损失。它可连续运行，无计划停机，且使用寿命足够长，确保更换周期可控。回报是稳定的工艺窗口和可靠的光刻性能。</p>