http://quartz-ir-heat.com/zh/tags/tool/ Recent content in Tool on Quartz Infrared Heating Source Hugo zh Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="晶圆设备用温度传感器"></p> <p>在晶圆车间，光刻胶烘烤过程中0.5°C的温度漂移不仅仅是尺寸（CD）偏差。这涉及的风险很大。<a href="https://henruite.com">晶圆设备全</a>天候7×24运行，热不稳定会迅速累积，消耗热预算并导致返工。你需要一种温度传感器，其重复性应作为规格要求，而非仅仅是讨论点。</p> <p><strong>技术要点</strong><br> 我们针对晶圆级热均匀性±0.1°C设计了这款传感器，以保证每次软烘烤和硬烘烤均采用相同的热轮廓，批次间一致。它适用于1级至100级洁净室，且不会产生任何颗粒，避免因污染带来良率损失。它可连续运行，无计划停机，且使用寿命足够长，确保更换周期可控。回报是稳定的工艺窗口和可靠的光刻性能。</p>