Verhinderung von Energieverlusten beim Trocknen von Wafern
Seien wir ehrlich: Das Trocknen von Wafern ist ein äußerst schwieriger Schritt im Produktionsprozess. Es muss die Feuchtigkeit aus den Wafern entfernt werden – doch wenn man zu stark drückt, besteht die Gefahr, alles zu ruinieren. Lange Zeit wurde dazu der Einsatz großer Öfen verwendet. Doch das Erhitzen eines ganzen Raumes nur zum Trocknen einiger Wafern ist wie das Erhitzen des gesamten Hauses nur zum Aufwärmen eines Stücks Pizza. Das ist eine enorme Verschwendung von Energie.
Deshalb haben wir uns für digitale IR-Trocknungscontroller entschieden. Anstatt die Luft zu erhitzen, wird mit Strahlungswärme direkt auf die Wafern eingewirkt. Dadurch wird weniger Energie verbraucht – und auch der Kohlenstoffausstoß sinkt.
Wie der Controller funktioniert
Ein digitaler Controller ist nicht einfach nur ein einfacher Ein-/Ausschalter. Er funktioniert eher wie ein Dimmer, der selbstständig entscheidet, wie viel Energie benötigt wird. Mithilfe von PID-Schleifen oder PWM-Technologien passt der Controller ständig die Leistung der Lampen an.
Warum ist das wichtig? Denn in dieser Branche kann bereits eine Abweichung von 5°C dazu führen, dass eine ganze Charge ruiniert wird. Deshalb stellen wir diese Controller so ein, dass sie genau die benötigte Menge an Energie liefern. Keine Vermutungen, keine Unregelmäßigkeiten – nur konstante Wärme.
Reduzierung desCO2-Ausstoßes sowie der Wartezeit
Jeder strebt nach „grünen Fabriken“ – das bedeutet in der Regel, weniger Energie pro Wafer zu verbrauchen. Da IR-Systeme das Substrat und nicht die Luft erhitzen, verkürzt sich die Zeit bis zum Trocknen von Minuten auf Sekunden. Wenn die Lampen weniger Zeit zum Arbeiten haben, wird keine Energie mehr für unnötige Wärme verschwendet. Wenn man hocheffiziente Kurzwellenlampen mit einem intelligenten Controller kombiniert, kann man einen großen Teil der Energieverschwendung eliminieren.
Was man in den Broschüren nicht erfährt
Präzision kostet Geld. Wenn man auf digitale Lösungen setzt, muss man sich auch mit elektrischem Rauschen auseinandersetzen. Wenn die Signalkabel nicht richtig abgeschirmt sind, kann dieses Rauschen andere empfindliche Geräte stören. Das ist zwar lästig, aber lösbar.
Achten Sie außerdem auf Ihre Lüfter. IR-Lampen erzeugen viel Wärme in einem kleinen Raum. Wenn die Luftzirkulation nicht ausreicht, werden die Lampen viel schneller kaputtgehen.
Wenn Sie Ihren Vorgesetzten die Einsparungen nachweisen möchten, verbinden Sie einfach diese Controller mit Ihrem bestehenden PLC-Netzwerk. So erhalten Sie Echtzeit-Daten über den Energieverbrauch – was die Erstellung von Berichten über den Kohlenstoffausstoß erleichtert.