Sicherheit gewährleisten: Goldbeschichtete IR-Lampen bei der chemischen Reinigung
Wenn man mit Halbleiterfertigungsanlagen arbeitet, hat man es in der Regel mit Lösungsmitteln zu tun, die Hitze überhaupt nicht vertragen. Sie sind flüchtig und entzündlich. Wenn man nun eine Hochtemperatur-IR-Lampe in diese Mischung einsetzt, ist „Entzündung“ das einzige Wort, an das man denken kann.
Um solche Probleme zu vermeiden, tun wir zwei Dinge: Wir verwenden eine Goldbeschichtung sowie eine besonders effektive Abdichtung.
Warum Gold?
Bei herkömmlichen Quarzlampen geht viel Energie in langwellige Strahlung verloren – diese Energie wird einfach verschwendet. Durch das Aufbringen einer dünnen Goldschicht auf den Quarz kann diese Energie wieder in den Filament zurückgeleitet werden. Dadurch entsteht mehr Wärme im Kurzwellenbereich. Das Ergebnis? Die gewünschten Temperaturen werden schneller erreicht. Man erhält so die nötige Wärmestärke, ohne dass die Leistung so hoch eingestellt werden muss, dass das Gehäuse schmilzt.
Umgang mit der „Gefahrenzone“
Herkömmliche Lampen haben eine Schwäche: die Endkappen. Dort kann Wärme entweichen und elektrische Entladungen auftreten. In einem Raum voller Chemikalien reicht bereits eine kleine Funke aus, um alles aus dem Ruder laufen zu lassen.
Wir nehmen hier keine Risiken in Kauf. Wir verwenden hochwertige Übergänge zwischen Quarz und Metall sowie spezielle Dichtstoffe, um alles fest abzudichten. Dadurch entsteht eine physische Barriere zwischen Strom und Luft. Diese Dichtungen sind so konzipiert, dass Chemikalien nicht eindringen können und Funken nicht entweichen können.
Kompromisse (denn nichts ist perfekt)
Diese Lampen sind hinsichtlich ihres thermischen Verhaltens sehr zuverlässig – genau das, was man für die Waferverarbeitung braucht. Doch es gibt einen Haken: Die Goldbeschichtung ist empfindlich. Wenn das Wartungsteam den Quarz mit aggressiven Mitteln reinigt, wird die Goldschicht abgeschabt. Dann sinkt die Effizienz der Lampe drastisch.
Ein weiterer Tipp bezüglich der Leistung: Halten Sie die Lampen sauber. Hochleistungs-IR-Lampen leiden unter Spannungsspitzen. Ich empfehle dringend den Einsatz eines speziellen SCR-Controllers, damit der Filament nicht sofort zerstört wird, sobald man den Schalter betätigt.
Auch das Gehäuse muss richtig belüftet werden. Die Wärme muss irgendwo hin, damit sie die Dichtungen nicht beschädigt.