Deje de perder tiempo: ¿Por qué el calentamiento por infrarrojos en vacío es la mejor opción?
Si ha trabajado en el procesamiento de semiconductores, seguramente conoce bien este proceso: uno debe esperar a que las piezas se calienten o se enfríen. Durante mucho tiempo, nos hemos basado en el uso de aire forzado para lograrlo, pero el uso de calentadores por infrarrojos compatibles con el vacío cambia completamente el ritmo del proceso.
En realidad, todo se reduce a cómo llega el calor a la oblea. La convección del aire es como tratar de calentar una habitación con un ventilador: lleva mucho tiempo, ya que el aire tiene que transportar la energía. Pero en un entorno de alto vacío, el aire no existe. No se puede mover algo que no está allí. Los calentadores por infrarrojos evitan este problema: envían radiación electromagnética directamente hacia el objetivo.
Es instantáneo.
Ese “retardo térmico” que tanto detestamos en los sistemas con aire forzado… ya no existe. No hay necesidad de calentar primero el aire, luego las paredes y finalmente la oblea. Con lámparas de infrarrojos de onda corta, la energía llega directamente al objetivo. Esto significa que los tiempos de calentamiento y enfriamiento pueden reducirse entre un 60% y un 80%. Cuando su fábrica funciona las 24 horas del día, esos minutos ahorrados se traducen en muchas más obleas procesadas por hora.
Pero no basta con usar cualquier lámpara en un ambiente de vacío. Utilizamos envoltorios de cuarzo especializados y sellantes adecuados, ya que la emisión de gases es un problema grave. Si el calentador libera químicos al vacío, se contamina el silicio y se pierde la integridad del mismo. Por eso diseñamos estos calentadores de forma compacta pero potente, para que proporcionen alta densidad de calor justo donde se necesita, sin convertir todo el sistema de vacío en un horno.
Para ser honesto: el calentamiento por infrarrojos no es un truco mágico. Tiene sus dificultades. Dado que la transferencia de calor ocurre muy rápidamente, es fácil superar la temperatura deseada. Si el circuito PID no está ajustado perfectamente, se superará la temperatura objetivo. También está el problema de la reflexión: si las paredes de la cámara no están preparadas para ese tipo de radiación, el equipo costoso se calentará en lugar de la pieza que realmente se está procesando.
Nuestro truco: usar protecciones revestidas de oro. Estas protecciones mantienen la energía concentrada en la oblea, evitan el desperdicio de energía y evitan que el sistema de enfriamiento se sobrecargue.