در کارخانههای تولید، فرآیند پختن فوتورزیست نیازمند کنترل دقیق دما است؛ هرگونه اختلاف دمایی حتی کمتر از نیم درجه، میتواند باعث اختلال در ابعاد محصول شود. در نتیجه، ساعتها کار لیتوگرافی بیفایده خواهد بود.
لامپ مایکروویو و غلاف کوارتزی آن در مرکز این چرخه حرارتی قرار دارند؛ اگر غلاف نتواند دما را کنترل کند، این امر باعث اختلالاتی در فرآیند تولید خواهد شد.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
ما غلاف کوارتزی را به گونهای طراحی کردهایم که بتواند امواج مایکروویو کوتاه و متوسط را منتقل کند؛ درست مانند آنچه که فوتورزیست در حین فرآیند پختن جذب میکند. یکنواختی حرارتی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه باقی میماند؛ این میزان دقیقاً همان چیزی است که برای کنترل ابعاد محصول لازم است.
این غلاف در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ نیز کارایی دارد؛ حتی در حین فرآیندهای حرارتی، تعداد ذرات روی سطح آن کمتر از حد مجاز باقی میماند. ما این غلاف را برای کار ۲۴ ساعته طراحی کردهایم؛ استابیلیت عملکرد آن نیز در بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، تأیید شده است.
چرا این غلاف در فرآیند تولید کارایی دارد
در فرآیند تولید، این غلاف باعث ایجاد یکنواختی در دما میشود؛ در نتیجه، تعداد ویفرهای از کار افتاده کاهش مییابد. همچنین، یکنواختی ابعاد محصول نیز حفظ میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا این غلاف مایکروویو را به صورت کارآمد منتقل میکند؛ در نتیجه، نیاز به انرژی الکتریکی کمتری وجود دارد. این غلاف جایگزین مناسبی برای قطعات کوارتزی ساخته شده توسط تولیدکنندگان اصلی است؛ بدون نیاز به تغییرات در سیستم حرارتی کلی.
جزئیاتی که نمیتوان نادیده گرفت
محدودیتهای نصب این غلاف بسیار دقیق هستند؛ باید غلاف را در جای مشخص شده قرار داد؛ در غیر این صورت، با مشکلات حرارتی مواجه خواهید شد. قبل از تغییرات، باید نوع کانکتور لامپ و ابعاد غلاف را بررسی کرد.
باید از ابزارها و دستکشهای مناسب برای کار با این غلاف استفاده کرد؛ هرگونه اثر انگشت روی سطح کوارتز، میتواند باعث ایجاد مشکلات حرارتی شود. باید غلاف را در زمان مقرر تعویض کرد؛ در غیر این صورت، با مشکلات مربوط به سیستم حرارتی مواجه خواهید شد.