در کارخانه تولید ویفرها، ضخامت ویفرها را تا ۵۰ میکرومتر کاهش میدهیم؛ اما در این حالت، به دلیل عدم یکنواختی در فرآیند خشک کردن، بازدهی تولید کاهش مییابد. همچنین، در صورت افزایش شدید دما، لایههای موجود روی ویفر ترک میخورند. ما برای رفع این مشکلات، گرمایشکنندههای مبتنی بر اشعه مادون قرمز را طراحی کردهایم.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ما از منابع اشعه مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکنیم؛ این منابع دارای پاسخ حرارتی سریع و مستقیم هستند، بنابراین در عرض چند ثانیه به دمای مورد نیاز میرسیم و آن را حفظ میکنیم، بدون اینکه دما بیش از حد افزایش یابد. در کل منطقه فعال، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز حفظ میشود، زیرا این منابع به طور قابل پیشبینی فرسوده میشوند. این سیستم مناسب اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، ما با استفاده از پنجرههای کوارتزی بسته و مسیرهای کمگاز، تولید ذرات را کاهش میدهیم. تراکم انرژی نیز برای ویفرهای نازک تنظیم شده است؛ یعنی دمای کافی برای حذف حلالها وجود دارد، اما این دما آنقدر ملایم است که باعث استرس بر روی سطح ویفر نشود.
چرا این روش در کارخانه ما مؤثر است؟
در فرآیند خشک کردن ویفرها، اشعه مادون قرمز مستقیماً روی لایه آب تأثیر میگذارد؛ بنابراین زمان لازم برای خشک کردن کاهش مییابد و میزان انرژی مصرفی نیز کمتر میشود. در فرآیند پردازش فوتورزیست، این اشعه دمای لازم برای پختن مناسب را فراهم میکند؛ بنابراین ابعاد ویفر یکنواخت باقی میماند. در فرآیند بستهبندی نیز، این اشعه باعث ایجاد دمای کنترلشده برای بستهبندی ویفر میشود؛ بنابراین شوک حرارتی ایجاد نمیشود. نتیجه این کار، کاهش تعداد محصولات نیازمند تعمیر، پایداری کیفیت محصولات و توانایی برنامهریزی برای تولید است. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرمایشکنندهها کمتر کار میکنند و بیشتر از زمان خود را در حالت تعادل سپری میکنند.
چه چیزهایی را باید از قبل بدانید؟
اشعه مادون قرمز فقط در خط دید مستقیم عمل میکند؛ بنابراین محل قرارگیری منابع اشعه باید با شکل ویفر و ساختار آن هماهنگ باشد. همچنین، باید از سطوح بازتابنده و سطوح کوارتزی تمیز استفاده کرد؛ در غیر این صورت، نقاط داغی در لبههای ویفر ایجاد میشود. همچنین، باید از منابع تغذیه انرژی و سیستمهای مدیریت حرارتی مناسب استفاده کرد تا دیوارههای اتاق سرد بمانند. پس از هماهنگ کردن تمام اجزا، فرآیند تولید روان خواهد بود؛ اما میزان تحمل خطای در این فرآیند بسیار کم است.