Protéger les équipements : lampes infrarouges revêtues d’or pour le nettoyage chimique
Lorsque l’on travaille dans des usines de fabrication de semi-conducteurs, on a affaire à des solvants qui ne supportent pas bien la chaleur. Ce sont des substances volatiles et inflammables. Si l’on ajoute une source infrarouge à haute température à ce mélange, l’« ignition » devient la seule chose à laquelle on pense.
Pour éviter ce genre de problèmes, nous faisons deux choses : nous utilisons un revêtement en or et nous assurons un étanchéité absolue.
Pourquoi l’or ?
Les lampes en quartz standard gaspillent beaucoup d’énergie sous forme de rayonnement à longues longueurs d’onde. En ajoutant une fine couche d’or sur le quartz, nous permettons à cette énergie de revenir vers le filament. Cela favorise la production de chaleur dans la gamme des longueurs d’onde courtes. Résultat : on atteint plus rapidement les températures souhaitées. On obtient ainsi la densité thermique nécessaire, sans avoir à augmenter trop la puissance du dispositif, ce qui pourrait endommager son boîtier.
Gérer la « zone dangereuse »
Les lampes standards ont un point faible : leurs extrémités. C’est là que la chaleur s’échappe et où les arcs électriques peuvent se former. Dans une pièce remplie de vapeurs chimiques, un simple éclair suffit pour que tout tourne mal.
Nous ne prenons aucun risque ici. Nous utilisons des transitions entre le quartz et le métal de haute qualité, ainsi que des composés spéciaux pour assurer une étanchéité parfaite. Cela crée une barrière physique entre l’électricité et l’air. Ces joints sont conçus de manière à empêcher les produits chimiques d’entrer et les étincelles de sortir.
Les compromis (car rien n’est parfait)
Ces lampes sont très fiables en termes de performance thermique, ce qui est exactement ce qu’il faut pour le traitement des wafers. Mais il y a un inconvénient : le revêtement en or est fragile. Si l’équipe de maintenance utilise des produits agressifs pour nettoyer le quartz, le revêtement en or sera endommagé. Une fois cela arrivé, l’efficacité de la lampe diminue considérablement.
Un conseil concernant l’alimentation électrique : assurez-vous que la lampe soit bien ventilée. Il faut permettre à la chaleur de s’échapper, sinon elle endommagera les joints.