Arrêtez de perdre du temps : pourquoi le chauffage par rayonnement infrarouge est la solution idéale
Si vous avez déjà travaillé dans le domaine du traitement des semi-conducteurs, vous connaissez bien ce processus : on attend que les pièces se réchauffent, puis qu’elles refroidissent. Pendant longtemps, nous avons utilisé de l’air comprimé pour atteindre cet objectif. Mais en passant au chauffage par rayonnement infrarouge adapté aux conditions de vide, on modifie complètement le rythme de travail.
Tout dépend de la manière dont la chaleur atteint la puce. La convection de l’air, c’est comme essayer de chauffer une pièce avec un ventilateur : cela prend énormément de temps, car l’air doit transporter l’énergie. Or, dans un environnement à haut vide, il n’y a pas d’air. On ne peut pas faire circuler quelque chose qui n’existe pas. Les chauffages par rayonnement infrarouge évitent ce problème : ils envoient directement des ondes électromagnétiques vers la cible.
C’est instantané. Ce « retard thermique » que nous détestons tant avec les systèmes à air ? Disparu. Il n’est plus nécessaire de chauffer l’air, puis les murs, puis enfin la puce elle-même. Avec des lampes à rayonnement infrarouge à ondes courtes, l’énergie atteint directement la cible. On peut ainsi réduire de 60 % à 80 % le temps nécessaire pour chauffer ou refroidir la puce. Lorsque votre usine fonctionne 24/7, ces minutes gagnées permettent de traiter beaucoup plus de puces par heure.
Mais on ne peut pas simplement placer n’importe quelle lampe dans un environnement à vide. Nous utilisons des enveloppes en quartz spécialisées et des matériaux d’étanchéité, car les émissions de gaz peuvent être un vrai problème. Si votre chauffage libère des produits chimiques dans le vide, vous contaminez votre silicium et ruinerez l’intégrité du vide. C’est un véritable désastre. C’est pourquoi nous conçons ces dispositifs de manière à ce qu’ils soient compacts mais puissants, afin de fournir une forte densité de chaleur exactement là où c’est nécessaire, sans transformer tout le système à vide en four.
Pour être honnête, le chauffage par rayonnement infrarouge n’est pas un miracle. Il présente aussi ses défis. Comme le transfert de chaleur est très rapide, il est facile de dépasser la température souhaitée. Si le circuit PID n’est pas correctement calibré, on dépasse facilement la température cible. De plus, il y a le problème de la réflexion : si les parois de la chambre ne sont pas adaptées à ce type de rayonnement, on finit par chauffer l’équipement coûteux plutôt que la puce sur laquelle on travaille.
Notre solution ? Utiliser des boucliers thermiques recouverts d’or. Cela permet de concentrer l’énergie directement sur la puce, d’éviter les pertes d’énergie, et de protéger le système de refroidissement.