בחדר הייצור, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום עלול לגרום לכך שהקווים שנוצרים על הוואפרים לא יהיו במיקום הנכון, וכתוצאה מכך הרבה ואפרים יהפכו לפסולת. יצרנו מגן חימום באמצעות קרמיקה באור אינפרא-אדום, כדי למנוע שינויים אלו – כך שההתנהגות התרמית תהיה קבועה, ולא תלויה במצבו של המשטח החם.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגלאי אור אינפרא-אדום מסוג קרמי, מכיוון שהם מגיבים במהירות ומחממים את האזור הנדרש בדיוק, עם אחידות של פחות ממילימטר בכל אזור החימום. המגן שומר על טמפרטורת הוואפר בטווח של ±0.1°C, והאחידות נשמרת בזכות בקרה אוטומטית וגאומטריה קבועה של הגלאים.
ניתן לשנות את נקודות ההפעלה בפחות מ-10 שניות, כך שניתן לעבור בין שלבי החימום בצורה חלקה – ובכך לשמור על אחידות הטמפרטורה ולמנוע פגמים בוואפרים. המגן מתאים לשימוש בחדרי ייצור נקיים: ישנו פליטת גזים מינימלית, ואין יצירת חלקיקים במהלך הפעולה – כך שניתן לשמור על רמת חלקיקים ברמה של Class 1–100.
למה זה פותר את הבעיות בתהליך הייצור? המגן פותר את הבעיות הנוצרות בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט: חימום עדין וחימום אינטנסיבי, שצריכים להיות אחידים ונקיים. אחידות של פחות ממילימטר מפחיתה את מספר הפגמים, ומאפשרת שליטה טובה יותר על הטמפרטורה. התגובה המהירה של המגן מקצרת את זמן העיבוד, והיציבות שלו מפחיתה את הצורך בעבודות תיקון. כמו כן, ניתן לחסוך אנרגיה, מכיוון שהמגן מחמם רק את האזור הנדרש – ללא בזבוז אנרגיה. בתהליכי אריזה וייבוש של ואפרים, הדיוק של המגן מבטיח אדהזיה טובה יותר וייבוש אחיד יותר, מה שמפחית את מספר החזרות ומשפר את היעילות.
מה צריך לוודא? המגן יכול להתחבר למשטחי החימום הקיימים, אך חשוב מאוד שההתאמה שלו למישור הוואפר תהיה מדויקת. רמת הדיוק צריכה להיות בתוך 0.1 ממ; אחרת יהיו בעיות באחידות החימום. יש לוודא שהמתח החשמלי והקירור נשארים בטווח המותר, ושהמגן נשאר נקי ויבש כדי לשמור על יציבות לטווח ארוך. אם יש לחות גבוהה, ניתן להוסיף חלון הגנה מבלי לפגוע במהירות התגובה של המגן.
ניתן לצפות לחיי שירות של למעלה מ-5,000 שעות, עם ירידה של פחות מ-5% בביצועי המגן. יש לתכנן את התחזוקה באופן קבוע, ולא רק במקרי חירום.