फैब्रिकेशन फ्लोर पर, बेकिंग तापमान में 0.5°C का बदलाव भी फोटोरेजिस्ट की संरचना को नैनोमीटरों में बदल सकता है… और नैनोमीटर ही उत्पादन की गुणवत्ता का निर्धारक है। लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, थर्मल बजट कोई मार्गदर्शक सिद्धांत नहीं है; बल्कि यही प्रक्रिया का ही हिस्सा है। हम दुनिया भर के वेफर फैब्रिकेशन प्लांटों के लिए ऐसे ही हीटर बनाते हैं, जो लगातार थर्मल बजट को स्थिर रखने में मदद करते हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमारे हीटर, बेकिंग प्लेट पर वेफरों के ऊपर थर्मल एकरूपता को ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं… इससे आपके “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ हर बार समान ही रहती हैं। क्वार्ट्ज तत्व, जिनमें शॉर्ट-वेव एवं मीडियम-वेव विकल्प उपलब्ध हैं, तेज़ एवं सटीक नियंत्रण संभव बनाते हैं।
क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूपता को डिज़ाइन में ही ध्यान में रखा गया है… कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों एवं ऐसी यांत्रिक संरचनाओं के कारण, थर्मल चक्रों के दौरान भी कणों की संख्या स्थिर रहती है। “शून्य कण उत्पन्न होना” कोई नारा नहीं, बल्कि एक आवश्यकता है… इसकी जाँच इन-लाइन मेट्रोलॉजी के द्वारा की जाती है।
उत्पादन में इन हीटरों का उपयोग क्यों उपयोगी है?
आप 24/7 उत्पादन करते हैं… अप्रत्याशित रूकावटें वेफरों के बर्बाद होने एवं उत्पादन क्षमता में कमी का कारण बनती हैं। ये हीटर निरंतर संचालन हेतु बनाए गए हैं… 5,000+ घंटों तक भी इनका प्रदर्शन स्थिर रहता है।
हम ऊर्जा उपयोग को उचित रखते हैं… लेकिन सेटपॉइंट की सटीकता को भी बनाए रखते हैं… इससे ये हीटर नई लाइनों एवं पुरानी लाइनों दोनों में उपयोग में आ सकते हैं। इसका परिणाम है – सुसंगत गुणवत्ता नियंत्रण, कम पुनर्कार्य, एवं ऐसी थर्मल प्रक्रिया जिस पर आप भरोसा कर सकते हैं।
व्यावहारिक विवरण:
यहाँ इन हीटरों को सीधे ही उपयोग में नहीं लाया जा सकता… हीटर को आपके टूल कंट्रोलर से जोड़ने हेतु वोल्टेज, कनेक्टर प्रकार, शील्डिंग आदि को सही ढंग से व्यवस्थित करना आवश्यक है। हम पहले ही आयामी विवरण एवं नियंत्रण इंटरफ़ेस संबंधी जानकारी देते हैं… लेकिन प्लेट से हीटर का संबंध एवं क्लीनरूम में हवा के प्रवाह की जाँच तो स्थल पर ही करनी होती है।
रैम्प दरों को समायोजित करने एवं एकरूपता की जाँच करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… यही तरीका है जिससे फैब्रिकेशन प्रक्रिया में आवश्यक एकरूपता प्राप्त की जा सकती है।