फैब्रिकेशन लेवल पर, वेफरों की मोटाई को 50 माइक्रोमीटर तक कम किया जाता है। लेकिन सुखाने की प्रक्रिया यदि समान न हो, तो उत्पादन दर में कमी आ जाती है। जब “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में तापमान में उतार-चढ़ाव होता है, तो पैकेजिंग प्रक्रिया में समस्याएँ आ जाती हैं। हमने ऐसे इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए हैं, जिससे ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हम ऐसे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, जिनकी थर्मल प्रतिक्रिया तेज़ होती है। इससे हम कुछ ही सेकंडों में वांछित तापमान तक पहुँच सकते हैं, एवं उस तापमान को बनाए रख सकते हैं। वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है। चूँकि एमिटरों की उम्र अनुमानित होती है, इसलिए प्रक्रिया में दोहराव भी होता है। यह सिस्टम क्लास 1–100 क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है। हम सील्ड क्वार्ट्ज विंडोज़ एवं कम गैस उत्सर्जन वाली प्रणालियों का उपयोग करके कणों के उत्पादन को कम करते हैं। वेफरों की पतली सतहों के लिए ऊर्जा घनत्व ऐसा ही होता है – पर्याप्त ऊष्मा ताकि विलायक जल्दी ही निकल जाएं, लेकिन इतनी ही ऊष्मा कि वेफरों पर कोई दबाव न पड़े।
हमारे कार्यस्थल पर यह क्यों कारगर है?
वेफरों को सुखाने में, इन्फ्रारेड किरणें सीधे पानी की परत पर पड़ती हैं; इससे प्रक्रिया छोटी हो जाती है, एवं ऊष्मा की आवश्यकता भी कम हो जाती है। फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, यह वही तापमान प्रदान करता है, जो वेफरों की गुणवत्ता बनाए रखने हेतु आवश्यक है। पैकेजिंग में, यह नियंत्रित तापमान प्रदान करता है, जिससे कोई थर्मल शॉक नहीं होता। इससे पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं उत्पादन दर भी स्थिर रहती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि हीटर कम समय ही काम करता है।
पहले ही जानने योग्य बातें
इन्फ्रारेड किरणें सीधी रेखा में ही चलती हैं; इसलिए एमिटरों की स्थिति वेफरों की संरचना के अनुरूप होनी चाहिए। परावर्तक सामग्रियों एवं स्वच्छ क्वार्ट्ज सतहों का उपयोग आवश्यक है; अन्यथा किनारों पर गर्म बिंदु बन जाएंगे। एक विशेष पावर सप्लाई एवं थर्मल मैनेजमेंट प्रणाली आवश्यक है, ताकि चेंबर की दीवारें ठंडी रहें। एक बार जब सब कुछ सही ढंग से सेट हो जाता है, तो प्रक्रिया आसान हो जाती है… लेकिन सेटअप की सटीकता बहुत ही कम होती है।