Come mantenere una sala pulita di classe 100 davvero pulita
Quando si lavora in un ambiente di classe 100, l’ultima cosa di cui si ha bisogno è che gli elementi riscaldanti liberino particelle ovunque all’interno della sala. È un vero incubo. La maggior parte dei riscaldatori resistenti tradizionali tende a perdere particelle o a rilasciare gas metallici durante il processo di riscaldamento e raffreddamento.
Ecco perché abbiamo optato per il quarzo sintetico ad alta purezza per le lampade a raggi infrarossi presenti nei nostri sistemi per la lavorazione dei semiconduttori. Funziona semplicemente meglio.
Perché il quarzo?
In sostanza, il quarzo fuso non reagisce alle alte temperature: non si degrada né rilascia impurità metalliche. A differenza dei riscaldatori rivestiti di metallo, il quarzo rimane stabile e chimicamente inerte. Non reagisce né con l’aria né con i wafer che vengono manipolati. Inoltre, i raggi infrarossi colpiscono direttamente il bersaglio, senza alcun intermediario; quindi non ci sono sostanze capaci di introdurre contaminanti nel processo di produzione.
Installazione delle lampade
Abbiamo progettato queste lampade in modo che non ostacolino il funzionamento dei dispositivi. Si inseriscono perfettamente nei supporti previsti per i carrelli, permettendo così una distribuzione uniforme del calore su tutta la superficie da riscaldare. Grazie all’uso di raggi infrarossi a lunghezza d’onda corta, il tempo di riscaldamento è estremamente rapido. Questo è un grande vantaggio, poiché riduce il tempo in cui il prodotto rimane esposto all’aria.
Utilizziamo anche connettori speciali per garantire che tutto rimanga ben sigillato. In questo modo, il gas allogenico rimane all’interno della lampada, mentre polvere e particelle restano all’esterno.
Gli svantaggi
Tuttavia, c’è un problema: il quarzo ad alta purezza è fragile. Può sopportare gli shock termici, ma se qualcuno lo urta durante la manutenzione, si potrebbe rompere. Bisogna quindi prestare attenzione alla montatura delle lampade: è necessario assicurarsi che non vi siano sollecitazioni meccaniche sul tubo di quarzo, altrimenti si potrebbero verificare problemi seri.
Inoltre, queste lampade generano molto calore. È quindi necessario utilizzare un dissipatore di calore efficace sul telaio del carrello. Altrimenti, i sensori presenti nella sala pulita potrebbero essere danneggiati a causa dell’eccessivo calore nell’ambiente circostante.
Un ultimo consiglio
Se si vogliono sostituire queste lampade in un sistema esistente, è fondamentale verificare attentamente le tensioni elettriche utilizzate. Se queste non corrispondono, il filamento della lampada potrebbe bruciarsi non appena si preme l’interruttore.