クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行う際、最も避けたいのは、ヒーターから粒子が飛び散ってしまうことです。それは大変な問題です。一般的な抵抗型ヒーターは、加熱や冷却の際に剥がれ落ちたり、ガスを放出したりする傾向があります。
そのため、私たちは半導体用のトロリーシステムに使用する赤外線ランプに、高純度の合成石英を使用しています。これならずっと効果的です。
なぜ石英なのか？
基本的に、融結シリカ製の石英は高温でも壊れることがありません。金属的不純物も放出されません。金属製のヒーターとは違い、石英は化学的に安定しており、空気やウェーハと反応しません。
さらに、赤外線は直接対象物に当たります。中間媒体がないため、汚染物質が工程内に入り込む心配もありません。
すべてを適切に配置する
これらのランプは、邪魔にならないように設計されています。トロリーのフレームにしっかり固定されているため、全体に均一な熱が行き渡ります。
短波長の赤外線を使用しているため、起動が非常に速いです。これは大きな利点であり、製品が空気に露出している時間を短縮できます。
また、専用のコネクタを使用して、すべてを密閉しています。これにより、ランプ内のハロゲンガスが外部に漏れ出ず、ほこりや粒子も入ってきません。
留意点
ただし、高純度の石英はもろいです。熱ショックには耐えられますが、メンテナンス中に何かにぶつけてしまったら、割れてしまいます。石英管には一切の機械的ストレスがかからないように注意する必要があります。そうしないと、大変なことになります。
また、これらのランプは大量の熱を発生します。そのため、トロリーのシャーシには十分な放熱機能が必要です。そうでなければ、周囲の空気が過度に熱くなり、クリーンルームのセンサーが誤作動する可能性があります。
最後に、既存のラインにこれらのランプを取り付ける場合は、必ず電圧を確認してください。もし一致しなければ、スイッチを入れた瞬間にフィラメントが破損してしまいます。