化学処理エリアで赤外線ヒーターを使用する場合、どれほど危険な状況かは想像に難くありません。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、さらに腐食性の物質も存在します。そうした環境では、通常のワイヤー接続では不十分であり、むしろ危険すらあります。わずかな火花やシールの緩みだけで、大惨事につながりかねません。...

加熱ランプによってウェーハがダメになるのを防ごう クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はよくご存知でしょう。見えないほど微細なほこり一つでも、ウェーハ全体が無駄になってしまいます。本当に困りますよね。 問題は、一般的なIRランプがその原因であることです。これらのランプからは微...

ウェーハを清潔に保つために：なぜIRランプの設計が重要なのか 高負荷の製造環境では、ランプの故障は単なる技術的な問題にとどまりません。それはまさに悪夢です。 例えば、シリコンウェーハの真上でIRチューブが破裂したとしましょう。その場合、ガラスの破片やハロゲンガスが飛び散り、結果としてウェーハ全体が...

ファブ内では、フォトレジストの焼成処理については議論の余地などありません。重要なのは、再現性のある温度制御です。ウェーハの温度が半度でもずれると、重要な寸法が変わってしまいます。その結果、何時間もかけて行ったリソグラフィー作業が台無しになってしまいます。 IRランプとそのクォーツスリーブは、その熱...