CVD 化学気相成長 ヒーター

製造現場では、チャンバー内の温度が0.5℃でも変動すると、生産効率が低下してしまいます。このCVDヒーターは、ごくわずかな温度の違いが最終的な製品品質に大きな影響を与えるという現実に対応して作られています。 技術的に重要な点 このヒーターは、短波長の赤外線加熱とクォーツで封止された発熱体を組み合わ...