클래스 100 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 환경에서 작업할 때 가장 원하지 않는 것은 난방 장치에서 발생하는 미세 입자들이 작업 공간 전체에 퍼지는 것입니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 일반적인 저항식 히터들은 가열 및 냉각 과정에서 조각이 나거나 가스가 발생하는 경향이 있습니다.
그래서 우리는 반도체 처리용 카트에 사용되는 적외선 램프에 고품질의 합성 석영을 사용하기로 했습니다. 이 방식이 훨씬 더 효과적입니다.
왜 석영인가?
기본적으로, 융합 실리카 석영은 고온에서도 변질되지 않습니다. 금속성 불순물도 배출되지 않습니다. 금속으로 된 히터와 달리, 석영은 화학적으로 안정적이며, 공기나 웨이퍼와 반응하지 않습니다.
또한, 적외선이 직접 목표물에 도달하기 때문에, 중간에 장애물이 없어서 오염물질이 공정 내로 들어올 가능성이 없습니다.
모든 것을 제대로 설치하기
우리는 이 램프들이 방해가 되지 않도록 설계했습니다. 램프들은 카트 프레임에 잘 맞아서, 전체 영역에 고르게 열이 분포됩니다.
단파 적외선을 사용하기 때문에, 가열 속도가 매우 빠릅니다. 이는 제품이 공기에 노출되는 시간을 줄여주는 큰 장점입니다.
또한, 모든 것을 밀폐시키기 위해 특수한 커넥터를 사용합니다. 이를 통해 램프 내부의 할로겐 가스가 밖으로 나가지 않고, 먼지나 입자도 들어오지 않습니다.
따라야 할 주의사항
하지만 고품질 석영은 취성이 있습니다. 열 충격에는 견딜 수 있지만, 정비 중에 누군가가 그것을 건드리면 부서질 수 있습니다. 석영관에 기계적 스트레스가 가지 않도록 주의해야 합니다. 그렇지 않으면 문제가 생길 수 있습니다.
또한, 이러한 램프들은 많은 열을 발생시킵니다. 따라서 카트 샤시에는 효과적인 방열 장치가 필요합니다. 그렇지 않으면 주변 공기가 너무 뜨거워져 청정실의 센서들이 오작동할 수 있습니다.
마지막으로, 기존 라인에 이 램프들을 설치할 때는 반드시 전압을 확인해야 합니다. 전압이 맞지 않으면 스위치를 켜는 순간 필라멘트가 손상될 수 있습니다.