MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 고통 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물기를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강하게 처리하면 열응력이 생기거나 불쾌한 잔여물이 남을 수 있습니다. 우리가 발견한 해결책은 적외선 히터와 금으로 코팅된...