왜 적외선 경화 방식을 사용하는가?
한 잔의 커피를 데우기 위해 온 방의 공기를 데우는 것을 시도해본 적이 있나요? 이것이 바로 기존의 대류식 오븐이 반도체 공장에서 하는 방식입니다. 오븐이 공기를 가열하고, 그 열이 웨이퍼를 따뜻하게 합니다. 하지만 이 방식은 매우 느리고 비효율적이며 에너지 낭비이기도 합니다.
우리의 UHP(초고순도) 램프는 전혀 다른 방식으로 작동합니다. 짧은 파장의 적외선을 사용하여 에너지를 직접 재료에 전달합니다. 중간 단계가 없으며, 공기가 따뜻해질 때까지 기다릴 필요도 없습니다. 이는 경화 과정을 처리하는 방식의 획기적인 변화이며, 그래서 많은 공장들이 그런 거대한 열처리 장치를 버리고 있습니다.
공정의 청결성
오랫동안 물건을 건조시키거나 경화시키기 위해서는 유해한 화학 용매나 중금속 촉매를 사용해야 했습니다. 이 방법도 효과는 있었지만, 유해한 가스가 발생하여 사람들의 건강에 해로웠습니다.
우리는 필요할 때 바로 정확한 온도를 만들어내는 램프를 만들었습니다. 열이 잘 조절되기 때문에 기판이 손상될 걱정도 없습니다. 그러므로 위험한 안정제를 사용할 필요도 없습니다. VOC나 납이 전혀 없으며, 환경 문제도 일으키지 않습니다.
전력 및 성능
가장 좋은 점은 적외선 경화 방식은 필요할 때만 작동한다는 것입니다. 스위치를 누르면 몇 밀리초 안에 최대 출력으로 작동합니다. 반면, 대류식 오븐은 몇 시간 동안 가열해야 합니다. 제품만 따뜻해지므로 에너지 비용도 상당히 절약됩니다.
깨끗한 상태를 유지하기 위해 우리는 고순도의 석영관을 사용합니다. 이렇게 하면 금속 이온이 빠져나와 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있습니다. 참고로, 이 램프는 매우 강력한 성능을 가지고 있습니다. 전력 밀도가 높으므로, 변압기가 그 강한 전력을 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 생산량을 늘릴 때마다 차단기가 작동하는 일이 없도록 해야 합니다.
“간편함”
아무도 주말에 장비를 수리하는 데 시간을 보내고 싶어하지 않습니다. 그래서 우리는 이 램프를 간단하게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 허용 오차를 줄여서, 고장 난 램프를 바로 교체하여 다시 작업을 시작할 수 있도록 했습니다.
또한, 열이 방사형으로 전달되기 때문에 기계의 나머지 부분도 비교적 시원한 상태를 유지합니다. 실링이 손상되거나 배선이 약해지는 일도 없으며, 장비의 수명도 길어집니다. 그래서 번거로운 분해 작업에 드는 시간을 줄이고, 웨이퍼를 운송하는 데 더 많은 시간을 할애할 수 있습니다.