난방용 램프가 웨이퍼를 손상시키는 것을 막으세요 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 보이지도 않는 아주 작은 먼지 한 점만으로도 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 정말 짜증나는 일입니다. 문제는 일반적인 적외선 램프...

MEMS 웨이퍼를 고통 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물기를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강하게 처리하면 열응력이 생기거나 불쾌한 잔여물이 남을 수 있습니다. 우리가 발견한 해결책은 적외선 히터와 금으로 코팅된...

열을 정확한 곳에 전달하는 방법 대부분의 적외선 가열 방식은 그다지 효율적이지 않습니다. 에너지가 사방으로 퍼져나가기 때문입니다. 스마트 센서를 제조할 때, 특히 웨이퍼 단계에서는 기계의 몸체가 그 많은 열을 흡수하는 것을 원하지 않습니다. 열이 반드시 실리콘에 직접...

순수성을 유지하기: 센서 가열의 현실 수소 센서를 제작할 때, 아주 작은 먼지 한 알이라도 있거나 밀폐부에서 약간의 가스가 새어나오면 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 정말 답답한 상황입니다. 작은 실수 하나로 몇 시간 동안의 노력이 수포로 돌아갈 수 있죠. 그래서...

제조 현장에서, 포토레지스트 베이크 중 0.5°C 편차는 단순한 CD 변화가 아니다. 손실 위험이 크다. 웨이퍼 장비는 7×24로 가동되며, 열 불안정성은 빠르게 누적되어 열 예산을 소진시키고 재작업을 강제한다. 반복성이 명세서에 명확히 기재된 온도 센서가 필요하다....