서론 솔직히 말해서, 반도체 제조 과정에서 비용을 절감하는 것은 단순한 목표가 아니라, 지속적으로 해결해야 하는 과제입니다. 그래서 우리는 이러한 압박에 대응하기 위해 특별한 솔루션을 만들었습니다. 바로 고품질의 가열 성능을 제공하면서도, 그에 맞는 높은 가격을 요구...

Fab Floor에서, RTP 장비의 램프 하나만 꺼져도 챔버가 멈추는 것을 넘어 라인 전체가 중단된다. 포토레지스트 소프트 베이크 및 하드 베이크 도중 온도 변동은 중요한 치수 목표치를 벗어나게 하며, 웨이퍼 전반에 걸친 비균일한 가열은 재현성을 불확실하게 만든다....