화학 처리 구역에서의 적외선 히터 사용 시 주의사항 화학 물질을 처리하는 공간에서 적외선 히터를 사용한다면, 그 위험성이 얼마나 큰지 잘 알고 있을 것입니다. 주변에는 인화성 가스가 맴돌고, 부식성 물질들도 있어서 모든 것을 파괴할 수 있습니다. 그러한 환경에서는 일...

난방용 램프가 웨이퍼를 손상시키는 것을 막으세요 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 보이지도 않는 아주 작은 먼지 한 점만으로도 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 정말 짜증나는 일입니다. 문제는 일반적인 적외선 램프...

웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법: 왜 IR 램프의 설계가 중요한가요? 고부하 환경에서 램프가 고장나는 것은 단순한 기술적 문제가 아닙니다. 그것은 진정한 재앙입니다. 실리콘 웨이퍼 위에서 IR 램프가 파손된다고 상상해 보세요. 유리 조각과 할로겐 가스가 사방으로 튀어...

생산 현장에서는 포토레지스트를 건조시키는 과정에 대해 논의할 필요가 없습니다. 중요한 것은 일관된 온도 제어뿐입니다. 웨이퍼의 온도가 단 0.5도만 변동해도 치명적인 결과가 발생할 수 있습니다. 그러면 몇 시간 동안 한 번에 수행된 리소그래피 작업이 모두 낭비될 수...