Di fasiliti pengeluaran semikonduktor, perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pembakaran bahan fotoresist sudah cukup untuk merosakkan wafer berukuran 300 mm. Kawalan suhu bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan faktor penting yang menentukan kualiti proses tersebut. Kami telah mencipta platform pemanasan NIR yang mampu mengekalkan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C, agar dimensi penting wafer tetap memenuhi spesifikasi yang ditetapkan, walaupun semasa proses pembakaran yang berlangsung dalam masa singkat.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami menggunakan sumber cahaya inframerah dekat (NIR) bersama-sama dengan elemen serat karbon yang bertindak balas dengan cepat, agar kadar peningkatan suhu dapat dilakukan dengan cepat tanpa berlaku penyimpangan. Sistem kawalan berlitar tertutup memastikan suhu kekal stabil pada seluruh permukaan wafer, walaupun proses pembakaran hanya berlangsung dalam masa kurang dari satu minit. Reka bentuk fasiliti ini juga mengambil kira aspek kebersihan: bahan-bahan yang digunakan tidak mengeluarkan gas berbahaya, saluran udara yang disaring, serta permukaan yang tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya semasa operasi. Dengan cara ini, profil suhu dapat diulang setiap kali proses pembakaran dilakukan, dan penggunaan tenaga juga dapat dikawal mengikut masa proses, bukan sekadar untuk mengelakkan pembaziran haba.
Mengapa ini penting dalam proses pengeluaran semikonduktor
Dalam proses litografi dan pemprosesan bahan fotoresist, keseragaman suhu sangat penting untuk memastikan kualiti produk yang dihasilkan. Pemanas NIR yang digunakan membolehkan kawalan yang lebih tepat terhadap ketepatan garis-garis pada permukaan wafer, sekaligus mengurangkan keperluan untuk melakukan proses pengulangan. Hasilnya, produktiviti meningkat, dan masa operasi menjadi lebih stabil. Bagi lini pembungkusan pula, ketepatan ini membantu memastikan kualiti produk yang dihasilkan tetap konsisten, sehingga mengurangkan kesilapan dan keperluan untuk melakukan proses pengulangan.
Apa yang perlu dipertimbangkan
Platform ini memenuhi standard peralatan semikonduktor antarabangsa, dan boleh digunakan bersama dengan peralatan sedia ada. Namun, integrasinya masih memerlukan perhatian terhadap kelas kebersihan fasiliti, sistem pengudaraan, serta pengurusan tenaga. Anda boleh menjangkakan masa yang singkat diperlukan untuk menyesuaikan parameter sistem tersebut; setelah itu, sistem akan berfungsi dengan baik tanpa perlu penyesuaian lagi.