Hentikan pembaziran masa: Mengapa penggunaan pemanas inframerah sangat efektif
Jika anda pernah bekerja dalam bidang pemprosesan semikonduktor, anda pasti tahu betapa menyusahkannya proses ini. Anda perlu menunggu agar bahan-bahan tersebut menjadi panas, dan kemudian menunggu pula agar ia sejuk semula. Untuk waktu yang lama, kita bergantung pada udara untuk memanaskan bahan-bahan tersebut. Namun, dengan penggunaan pemanas inframerah yang sesuai untuk lingkungan vakum, segalanya berubah.
Intinya adalah cara haba sampai ke wafer tersebut. Penggunaan udara sebagai alat pemanas sama saja seperti menggunakan kipas untuk memanaskan bilik – prosesnya memerlukan masa yang lama kerana udara perlu membawa tenaga tersebut. Dalam lingkungan vakum pula, udara tidak wujud. Jadi, pemanas inframerah mengelakkan penggunaan medium perantara. Ia menghantar radiasi elektromagnetik terus ke sasaran.
Ia berlaku secara serta-merta.
Kita semua benci masalah “kelewatan pemanasan” yang berlaku pada sistem pemanasan menggunakan udara. Dengan pemanas inframerah, masalah ini hilang sepenuhnya. Anda tidak perlu memanaskan udara terlebih dahulu, kemudian dinding bilik, dan seterusnya wafer tersebut. Dengan lampu inframerah gelombang pendek, tenaga akan sampai terus ke sasaran. Ini bermakna masa yang diperlukan untuk memanaskan atau menyejukkan bahan dapat dikurangkan sebanyak 60% hingga 80%. Apabila kilang beroperasi 24/7, masa yang dijimatkan ini akan membantu meningkatkan jumlah wafer yang dapat diproses setiap jam.
Namun, bukan semua lampu boleh digunakan dalam lingkungan vakum. Kita menggunakan penutup kuarza dan bahan pelindung khas, kerana masalah pelepasan gas adalah sesuatu yang sangat buruk. Jika pemanas tersebut melepaskan bahan kimia ke dalam vakum, ia akan mencemari silikon dan merosakkan integriti vakum tersebut. Itu merupakan masalah yang serius. Itulah sebabnya kami menciptakan pemanas inframerah yang kompak namun berkuasa, agar haba dapat disalurkan tepat ke tempat yang diperlukan, tanpa membuat keseluruhan sistem vakum menjadi panas.
Sejujurnya, pemanasan inframerah bukanlah cara yang ajaib. Ia mempunyai kelemahan tersendiri. Kerana proses pemindahan haba berlaku dengan sangat cepat, mudah sekali untuk melebihi suhu yang diinginkan. Jika sistem PID tidak dikonfigurasikan dengan baik, suhu akan melebihi had yang ditetapkan. Selain itu, ada juga masalah pantulan cahaya. Jika dinding bilik tidak sesuai untuk menahan radiasi tersebut, peralatan mahal akan menjadi panas, bukannya bahan yang sedang diproses.
Cara kami untuk mengatasi masalah ini adalah dengan menggunakan pelindung haba yang dilapisi emas. Pelindung ini memastikan haba hanya sampai ke wafer, mengurangkan pembaziran tenaga, dan melindungi sistem penyejukan daripada rosak.