Op de productielijn kan een verschil van een halve graad in de temperatuur tijdens het ‘soft bake’proces ertoe leiden dat de randen van de wafers niet meer precies op de gewenste plek komen te zitten. Dit resulteert erin dat veel wafers als afval worden beschouwd. We hebben daarom een keramisch infraroodverwarmingspaneel ontwikkeld om deze variabiliteit te verminderen. Hierdoor volgt het thermische gedrag de voorgeschreven normen, in plaats van te worden bepaald door de omstandigheden rondom het verwarmingselement.
Wat technisch gezien belangrijk is:
We gebruiken keramische infraroodemitters omdat ze snel reageren en de gewenste plekken nauwkeurig kunnen verwarmen. De uniformiteit over het te verwarmen gebied is zelfs submillimeternauwkeurig. Het paneel houdt de temperatuur op het oppervlak van de wafers binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid wordt gewaarborgd door een gesloten regelsysteem en een vaste geometrie van de emitters. De instellingen kunnen binnen minder dan 10 seconden worden aangepast, zodat je gemakkelijk tussen verschillende bewerkingsschappen kunt wisselen. Hierdoor blijft de thermische balans behouden en wordt de kwaliteit van de wafers beschermd. Het paneel is bovendien geschikt voor gebruik in schone ruimtes: er wordt nauwelijks gas uitgestoten en er worden geen deeltjes gegenereerd tijdens het gebruik. Hierdoor blijft de hoeveelheid deeltjes binnen de vereiste grenzen.
Waarom dit past bij de echte uitdagingen in het productieproces:
Dit paneel lost juist de problemen op die zich voordoen tijdens het proces van lithografie en fotorezistentverwerking: het moet immers nauwkeurig en uniform werken. De submillimeternauwkeurigheid zorgt voor minder defecten aan de randen van de wafers en betere controle over de dikte van de lagen op het oppervlak van de wafers. Bovendien leidt de snelle reactietijd tot kortere productietijden. Je bespaart ook energie, want er wordt alleen het benodigde gebied verwarmd – er wordt geen energie verspild. Bij het verpakken en drogen van wafers zorgt deze precisie voor een betere hechting en een consistenter droogtingsproces. Hierdoor zijn er minder herhalingsprocessen nodig en kan de productieefficiëntie worden verhoogd.
Wat je moet onthouden:
Het paneel past gemakkelijk in bestaande verwarmingselementen en bewerkingssystemen. Echter, het is belangrijk dat het paneel goed wordt gealigneerd met het oppervlak van de wafel. De toleranties van het montageapparaat mogen niet groter zijn dan 0,1 mm; anders heeft dit invloed op de uniformiteit. Zorg ervoor dat de werkingsspanning en de koeling binnen de vereiste grenzen blijven. Houd de voedingsspanning ook schoon en droog, zodat de stabiliteit op de lange termijn behouden blijft. Als de luchtvochtigheid hoog is, kun je een beschermend raam toevoegen, zonder dat dit de responsnelheid beïnvloedt. Je kunt rekenen op een levensduur van meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afname in prestaties. Plan de onderhoudswerkzaamheden op vaste tijdstippen in, zodat er geen onverwachte stilstanden optreden.