Op de productielijn worden de plakjes verdund tot 50 µm dikte. Hierdoor neemt de kwaliteit van de plakjes af, omdat het drogen niet gelijkmatig verloopt. De profielen van de fotorezistent veranderen wanneer de temperatuur tijdens het drogen varieert. De underfill-laag bij het verpakken splitst zich op wanneer de temperatuur te hoog wordt. We hebben speciale infrarode verwarmers ontwikkeld om deze thermische onzekerheden te verminderen.
Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken korte golflengte-infraroodemitters met een snelle en directe warmteoverdracht. Hierdoor wordt de gewenste temperatuur in secundes bereikt en gehouden, zonder dat er sprake is van overschrijdingen. In het actieve gebied blijft de uniformiteit van de plakjes binnen ±0,1°C. Bovendien blijft de herhaalbaarheid van het proces constant, omdat de emitters voorspelbaar verslechteren. Het systeem past in schoonruimtes van klasse 1–100. We beperken ook de vorming van deeltjes door gebruik te maken van afgesloten kwartsramen en een systeem dat minimale uitstoot van gassen veroorzaakt. De stroomdichtheid is zo ingesteld dat er voldoende warmte is om de oplosmiddelen snel te verdrijven, maar tegelijkertijd wordt de achterkant van de plakjes niet overbelast, zodat er geen vervorming optreedt.
Waarom dit werkt waar wij werken: Bij het drogen van plakjes bereikt het infrarode licht rechtstreeks de waterlaag. Hierdoor wordt de droogtijd verkort en daalt de benodigde energie. Tijdens het verwerken van fotorezistent zorgt het infrarode licht voor de juiste temperaturen, zodat de afmetingen en profielen consistent blijven. Bij het verpakken zorgt het systeem voor een gecontroleerde behandeling, zodat er geen thermische schokken optreden. Het resultaat is minder herwerkingswerk, stabiele defecten en een betrouwbare productiecapaciteit. Ook de energieverbruik neemt af, omdat de verwarmers minder tijd in een rusttoestand doorbrengen en meer tijd in een stabiele toestand zijn.
Wat je van tevoren moet weten: Infraroodstraling heeft alleen effect in de richting van de bron. Daarom moet de positie van de emitters overeenkomen met de geometrie van de plakjes. Zorg voor reflecterende elementen en schone kwartsoppervlakken; anders kunnen er hete plekken ontstaan. Plan ook voor een aparte stroomvoorziening en een goed thermisch beheersysteem, zodat de wanden van de ruimte koel blijven. Eenmaal goed gealigneerd, is de mogelijkheid om het proces uit te voeren groot – maar de toleranties voor de instellingen zijn klein.