Как предотвратить беспорядок: как справляться с поломками ламп в процессе отверждения пластин
Честно говоря, когда лампа в системе отверждения выходит из строя, это настоящий кошмар. Речь идет не только о простое остановке работы оборудования или о раздражающих сигналах тревоги. Проблема в том, что возникает большой беспорядок. Когда кварцевая трубка разрывается, осколки стекла и галогенный газ попадают прямо на пластины. Это приводит к загрязнению пластин. Поэтому мы разработали специальные рефлекторы, которые служат своего рода защитным барьером.
Как работает рефлектор
Большинство людей считают, что рефлекторы предназначены лишь для отражения инфракрасного излучения обратно на подложку. Действительно, это так. Но мы спроектировали наши рефлекторы так, чтобы они служили „ловушкой“ для осколков. Мы используем параболическую форму рефлектора и надежную герметизацию его поверхности. Это похоже на водохранилище: если трубка трескается под действием тепловых нагрузок, осколки остаются внутри корпуса. Они не попадают в камеру отверждения, что сохраняет чистоту пластин.
Материалы и преимущества
Мы используем алюминий высокой чистоты и специальное отражающее покрытие, чтобы максимально использовать свойства кратковолнового инфракрасного излучения. Цель состоит в том, чтобы получить необходимую плотность тепла без необходимости чрезмерного нагрева лампы. Чрезмерная нагрузка обычно является причиной ее поломки. Но нужно также контролировать поток воздуха. Если корпус слишком нагревается, покрытие может начать разрушаться, что снизит эффективность работы лампы. Все дело в балансе.
Упрощение процедур обслуживания
Мы, как и вы, ненавидим сложные процедуры обслуживания. Поэтому мы создали устройства, которые позволяют быстро заменять лампы и рефлекторы. Их можно извлекать целиком. Это упрощает процедуру обслуживания. Кроме того, это предотвращает попадание посторонних частиц в систему во время ее ремонта.
Еще один совет: проверяйте правильность расположения рефлектора каждые 500 часов. Это поможет избежать образования „горячих точек“, которые создают лишнюю нагрузку на кварцевую трубку.