Прекратите тратить время впустую: почему использование инфракрасных нагревателей — это разумный выбор
Если вы занимаетесь обработкой полупроводников, вы знаете, что такое ожидание. Нужно ждать, пока материал нагреется, а потом — пока он остынет. Долгое время мы использовали для нагрева обычный воздух, но переход на инфракрасные нагреватели, работающие в вакууме, кардинально меняет процесс производства.
Все сводится к тому, как именно передается тепло на пластину. Конвекция воздуха похожа на попытку нагреть комнату с помощью вентилятора — это занимает много времени, ведь воздух должен переносить энергию. А в условиях высокого вакуума воздуха вообще нет. Нельзя передавать энергию тому, чего нет. Инфракрасные нагреватели избегают этой проблемы: они направляют электромагнитное излучение прямо на цель.
Это происходит мгновенно. Тот самый «термический задержки», который мы все ненавидим при использовании систем с воздухом, исчезает. Не нужно нагревать воздух, потом стены, а затем уже саму пластину. С помощью ультрафиолетовых ламп энергия достигает цели мгновенно. Это позволяет сократить время нагрева и охлаждения на 60–80%. Если ваш завод работает круглосуточно, то экономия времени приводит к тому, что за час может быть обработано гораздо больше пластин.
Но не можна просто поместить любую лампу в вакуум. Мы используем специальные кварцевые оболочки и герметизирующие материалы, потому что выделение газов — это серьезная проблема. Если нагреватель начнет выделять химикаты в вакуум, это повредит кремний и нарушит условия вакуума. Поэтому мы создаем компактные, но мощные устройства, которые обеспечивают высокую плотность тепла именно там, где это необходимо, без необходимости превращения всего вакуумного контейнера в духовку.
Честно говоря, инфракрасное нагревание — это не волшебство. У него есть свои особенности. Поскольку передача тепла происходит очень быстро, легко превысить необходимую температуру. Если параметры системы управления не настроены правильно, температура может превысить запланированный уровень. Еще одной проблемой является отражение излучения. Если стены камеры не приспособлены к такому излучению, тепло будет нагревать дорогое оборудование, а не саму пластину.
Наш ход решения? Использование золоченых защитных экранов. Они сохраняют энергию именно на пластине, предотвращают ее расточительство и не загружают систему охлаждения чрезмерной нагрузкой.