На черзі з виробництва – процес „м’якого висушування“ пластин. Навіть незначна похибка у куті на півградуса може призвести до того, що лінії на поверхні пластини будуть не такими, як потрібно, а це означатиме, що багато пластин стануть непридатними для подальшого використання. Ми створили керамічну інфрачервону панель для усунення цієї проблеми – таким чином температурний режим буде контролюватися точно, а не залежати від стану плити.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо керамічні інфрачервоні емітери, оскільки вони швидко реагують та нагрівають саме ту область, яка потрібна, з точністю до кількох сотих міліметра. Панель дозволяє підтримувати температуру поверхні пластини в межах ±0,1°C. Постійність параметрів забезпечується завдяки системі замкнутого контролю та фіксованій геометрії емітерів.
Зміна значень параметрів відбувається менш ніж за 10 секунд, що дозволяє без проблем переходити від одного етапу обробки до іншого. Це допомагає контролювати температурний режим та зберігати цілісність структури пластини. Конструкція панелі підходить для використання в умовах чистої кімнати: мінімальний вивільнення газів, відсутність частинок під час роботи. Це дозволяє дотримуватися стандартів класу 1–100 щодо кількості частинок.
Чому це допомагає у вирішенні проблем під час процесу виробництва
Ця панель допомагає усунути проблеми, пов’язані з процесом літоографії та обробки фоторезисту: процеси „м’якого“ та „жорсткого“ висушування мають бути точними та однорідними. Точність до кількох сотих міліметра дозволяє зменшити кількість дефектів на краях пластин, краще контролювати їх параметри та зменшити кількість непридатних пластин.
Швидка реакція емітерів дозволяє скоротити час виконання процедур, без перевищення заданих параметрів. Стабільна робота емітерів також дозволяє зменшити кількість необхідних корекцій. Крім того, економиться енергія, оскільки нагрівається лише необхідна область – немає втрат тепла. Під час пакування та сушіння пластин така точність забезпечує кращу адгезію та більш однорідне сушіння, що дозволяє зменшити кількість повторних процедур та підвищити продуктивність.
Що потрібно враховувати
Панель може встановлюватися в існуючі платформи для нагріву, але її правильна установка щодо поверхні пластини є дуже важливою. Допуски щодо положення панелі мають становити не більше 0,1 мм; інакше це може призвести до проблем з однорідністю температури.
Необхідно також стежити за тим, щоб напруга та температура охолодження залишалися в заданих межах. Електропостачання також має бути чистим та сухим, щоб забезпечити довгострокову стабільність роботи панелі. Якщо у приміщенні висока вологість, можна додати захисне скло, що не вплине на швидкість реакції панелі.
Очікується, що термін служби панелі становитиме понад 5 000 годин, при цьому її продуктивність буде знижуватися не більш ніж на 5%. Обслуговування панелі слід проводити у передбачуваних проміжках часу, а не у разі аварійних ситуацій.