На виробничій лінії пластини розріджуються до товщини 50 мкм. Однак при цьому щільність продукції зменшується через нерівномірне сушіння. Профілі фотолегувального шару також змінюються через нерівномірне нагрівання. У процесі упакування можуть виникати проблеми через різкі перепади температури під час висихання матеріалу. Ми створили наведені нами інфрачервоні нагрівачі для усунення цих проблем.
Що є важливим з технічної точки зору:
Ми використовуємо наведені нами інфрачервоні еміттери з швидкою та прямою реакцією на температуру. Це дозволяє досягти потрібної температури за кілька секунд та підтримувати її без перевищень. На всій активній зоні товщина пластини залишається стабільною в межах ±0,1°C. Повторюваність процесу також є високою, оскільки еміттери старіють прогнозовано. Система підходить для чистих приміщень класу 1–100. Кількість частинок, які утворюються під час процесу, зменшується завдяки закритим кварцовим вікнам та системі контролю вивітрювання. Щільність потужності налаштовується так, щоб достатньо тепла було для швидкого виведення розчинників, але водночас достатньо слабке тепло, щоб не пошкодити поверхню пластини.
Чому це ефективно у наших умовах:
Під час сушіння пластин інфрачервоне випромінювання діє безпосередньо на водяну плівку, що скорочує час сушіння та зменшує енергоспоживання. Під час обробки фотолегувального шару інфрачервоне випромінювання забезпечує точне контролювання температури під час процесу сушіння. У процесі упакування інфрачервоне випромінювання забезпечує контрольоване висихання матеріалу без стресу для пластини. Результатом є менше необхідності повторної обробки, стабільна кількість дефектів та можливість планування продуктивності. Енергоспоживання також зменшується, оскільки нагрівачі працюють менше часу у режимі паузи та більше часу – у режимі стабільної роботи.
Що потрібно знати заздалегідь:
Інфрачервоне випромінювання діє лише в лінії видимості, тож розташування еміттерів має відповідати геометрії пластини та її структурі. Необхідно також забезпечити наявність відбивних елементів та чистих кварцових поверхонь; інакше на краях пластини можуть утворюватися „гарячі точки“. Також необхідно передбачити окреме живлення та систему контролю температури, щоб стіни приміщення залишалися прохолодними. Як тільки все налаштовано правильно, процес може відбуватися ефективно – але допуски щодо налаштувань є дуже мінімальними.